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華東師范大學(xué)等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)、高分辨X射線衍射儀等設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目國(guó)際招標(biāo)公告(1)
標(biāo)簽: 真空鍍膜設(shè)備
2022-11-10  閱讀

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  【康沃真空網(wǎng)】上海中世建設(shè)咨詢(xún)有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo),于2022-11-09在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。

  1、招標(biāo)條件

  項(xiàng)目概況:本項(xiàng)目采購(gòu)內(nèi)容分為六個(gè)包件,投標(biāo)人可對(duì)下述任一個(gè)包件或多個(gè)包件進(jìn)行投標(biāo),具體如下:

  包件一: 等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)

  包件二: 等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)

  包件三: 高分辨率X-射線衍射儀

  包件四: 磁控濺射鍍膜系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

  包件五: 半導(dǎo)體綜合測(cè)試系統(tǒng)-變溫真空探針臺(tái)

  包件六: 臺(tái)式微納結(jié)構(gòu)高速直寫(xiě)系統(tǒng)

  資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已落實(shí)

  項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備

  2、招標(biāo)內(nèi)容

  招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):1069-224Z20223841/04

  招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng):華東師范大學(xué)等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)、高分辨X射線衍射儀等設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目

  項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)上海市

  招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)產(chǎn)品名稱(chēng)數(shù)量簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格備注
1磁控濺射鍍膜系統(tǒng)1套*鍍膜均勻性指標(biāo):3英寸靶槍在6英寸硅片鍍制150nm以上的薄膜,均勻性不大于+/-5%,從基片中心到基片邊緣每隔0.5英寸取一個(gè)測(cè)量點(diǎn)(去掉5mm邊緣),使用臺(tái)階儀對(duì)每個(gè)點(diǎn)測(cè)量三次,取平均值,均勻性計(jì)算公式:(((最大 – 最小) / 最大) * 100) / 2 = +/- 均勻性%; 前級(jí)配置一臺(tái)抽速不低于6.7cfm的干式渦旋泵。正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音不大于52db,關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥后極限真空可達(dá)5X10-3torr,采用KF25接口;包件4
2電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)1套*鍍膜均勻性指標(biāo):6英寸硅片鍍制150nm以上的薄膜,均勻性不大于+/-5%,從基片中心到基片邊緣每隔0.5英寸取一個(gè)測(cè)量點(diǎn)(去掉5mm邊緣),使用臺(tái)階儀對(duì)每個(gè)點(diǎn)測(cè)量三次,取平均值,均勻性計(jì)算公式:(((最大 – 最小) / 最大) * 100) / 2 = +/- 均勻性%; 膜厚控制系統(tǒng)集成在設(shè)備控制軟件內(nèi),最多可控制5個(gè)晶振傳感器;包件4

  3、投標(biāo)人資格要求

  投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):3.1投標(biāo)人或制造商(如適用)有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照

  3.2本次招標(biāo)所涉及到的產(chǎn)品若非自主研發(fā)生產(chǎn),投標(biāo)人須提供制造商針對(duì)本項(xiàng)目的唯一授權(quán)書(shū)

  3.3參加本次招標(biāo)活動(dòng)前3年內(nèi),投標(biāo)人在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒(méi)有違法記錄,無(wú)利用不正當(dāng)競(jìng)爭(zhēng)手段騙取中標(biāo),無(wú)行賄犯罪記錄;

  是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受

  未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以

  4、招標(biāo)文件的獲取

  招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開(kāi)始時(shí)間:2022-11-09

  招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:2022-11-16

  是否在線售賣(mài)標(biāo)書(shū):否

  獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)

  招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn):上海市曹楊路528弄35號(hào)中世辦公樓5樓招標(biāo)部辦公室

  招標(biāo)文件售價(jià):¥500/$70

  其他說(shuō)明:未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件的供應(yīng)商不得參加投標(biāo)。招標(biāo)文件發(fā)售期截止后,購(gòu)買(mǎi)招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人少于3個(gè)的,招標(biāo)人可以依法重新招標(biāo);報(bào)名須提交的下述資料:單位負(fù)責(zé)人委托書(shū)、被授權(quán)代表身份證;注:在上述時(shí)間段內(nèi)至代理公司進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)報(bào)名或微信公眾號(hào)報(bào)名、領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件,逾期不再辦理。報(bào)名時(shí)提供的資料應(yīng)與投標(biāo)文件中的資格證明文件一致,如有不同,以投標(biāo)文件為準(zhǔn)。供應(yīng)商可關(guān)注“中世建咨”微信公眾號(hào),主界面右下角點(diǎn)擊“投標(biāo)報(bào)名”完成微信報(bào)名登記。

  5、投標(biāo)文件的遞交

  投標(biāo)截止時(shí)間(開(kāi)標(biāo)時(shí)間):2022-11-30 11:00

  投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):上海市曹楊路528弄35號(hào)中世辦公樓會(huì)議室,具體詳見(jiàn)一樓大屏幕

  開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):上海市曹楊路528弄35號(hào)中世辦公樓會(huì)議室,具體詳見(jiàn)一樓大屏幕

  6、投標(biāo)人在投標(biāo)前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)(https://www.ebnew.com)或機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)(https://www.chinabidding.com)完成注冊(cè)及信息核驗(yàn)。評(píng)標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公示。

  7、聯(lián)系方式

  招標(biāo)人:華東師范大學(xué)

  地址:中國(guó)上海市中山北路3663號(hào)

  聯(lián)系人:劉老師

  聯(lián)系方式:021-62232260

  招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海中世建設(shè)咨詢(xún)有限公司

  地址:中國(guó)上海市曹楊路528弄35號(hào)

  聯(lián)系人:趙貞、馬昕雨、嚴(yán)飛

  聯(lián)系方式:021-62441033

  8、匯款方式:

  招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶(hù)銀行(人民幣):上海銀行愚園路支行

  招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶(hù)銀行(美元):上海銀行長(zhǎng)寧支行

  賬號(hào)(人民幣):31641800003023916

  賬號(hào)(美元):3164631405000272107

  其他:SWIFT CODE:BOSHCNSHXXX

  9、其他補(bǔ)充說(shuō)明

  其他補(bǔ)充說(shuō)明:/