名稱
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數(shù)量
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簡要項目描述
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備注
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高真空低維納米薄膜聯(lián)合制備系統(tǒng)
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1套
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高真空條件下制備低維納米薄膜聯(lián)合制備系統(tǒng),需要實現(xiàn)高質(zhì)量金屬薄膜、氧化物薄膜、半導體薄膜以及新型二維材料薄膜等多種薄膜的高質(zhì)量均勻沉積功能;需要有多路氣路通道,可以在制備過程通入多種補償氣體,用于實現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積。
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項目名稱:
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項目編號:
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投標人名稱:
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投標人納稅人識別號:
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投標人地址:
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聯(lián)系人:
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聯(lián)系電話:
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傳 真:
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聯(lián)系人郵箱:
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是否需要紙質(zhì)招標文件
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