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哈爾濱工業(yè)大學高真空表面活化鍵合系統(tǒng)國際招標
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2020-07-22  閱讀

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天和項目管理有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標,于2020-07-22在中國國際招標網(wǎng)公告。本次招標采用電子招標方式,現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:哈爾濱工業(yè)大學高真空表面活化鍵合系統(tǒng)
資金到位或資金來源落實情況:國撥資金330萬元,資金已落實
項目已具備招標條件的說明:項目已批復
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:2243-204THJD20015
招標項目名稱:哈爾濱工業(yè)大學高真空表面活化鍵合系統(tǒng)
項目實施地點:中國黑龍江省
招標產(chǎn)品列表(主要設備):
序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術規(guī)格 備注
1 高真空表面活化鍵合系統(tǒng) 1套 1 設備名稱: 高真空表面活化鍵合系統(tǒng) 2 數(shù)量: 1套 3 設備用途說明: 高真空表面活化鍵合系統(tǒng)主要用于金屬、半導體及陶瓷等材料的室溫高強度鍵合,設備配備雙高真空室,氬(Ar)原子束活化源、真空機械轉移及高精度壓力傳感裝置,可應用于半導體芯片及未來光通訊芯片的制造。 4 技術要求及參數(shù): 詳細見:技術性能指標表。 加“★”條款為必須滿足的條款,不得偏離,有任何一項不滿足將導致廢標。 加“▲”條款為重要條款,不滿足則扣5分,普通項不滿足則扣3分。 編號 招標技術指標名稱 招標技術指標值 1 應用范圍和要求 高真空表面活化鍵合系統(tǒng)主要用于金屬、半導體及陶瓷等材料的室溫高強度鍵合,設備配備雙高真空室,氬(Ar)原子束活化源、真空機械轉移及高精度壓力傳感裝置,可應用于半導體芯片及未來光通訊芯片的制造。 2 性能指標 1、表面活化鍵合系統(tǒng) ★1.1 高速氬(Ar)原子束為活化源 (電源供電電壓:1kV,電流:200mA, 正常使用電壓:1kV, 電流:100mA) 1.2 晶圓有效活化面積可達2英寸; 1.3 氬(Ar)氣最大流量200sccm; 1.4 配備靜電吸盤夾持2英寸及以下晶圓; ▲1.5 Z軸壓力傳感器施加鍵合壓力范圍500N~5kN; 1.6壓力傳感器行程50mm; ★1.7旋轉+渦輪泵保證真空度可達2×10-6Pa; 1.8配置控制系統(tǒng):觸摸屏+鍵盤一套; 2、存放、轉移系統(tǒng) 2.1待鍵合樣品存放室極限真空度10-3Pa; ★2.2 待鍵合真空室和表面活化鍵合室雙真空室一體化; ▲2.3 真空轉移裝置完成晶圓在真空腔體內(nèi)的轉移; 3、其他要求 3.1 原裝設備生產(chǎn)制造,不接受組裝或貼牌系統(tǒng); 3 調(diào)試培訓服務 1.至少一次現(xiàn)場免費培訓 2.滿足24小時熱線服務 4 其他要求 1. 紙質(zhì)版交貨規(guī)格、說明書一份 5 配置清單及零配件(包括專用工具): 序號 名稱 單位 數(shù)量 1 待鍵合樣品存放系統(tǒng) 套 1 2 表面活化鍵合系統(tǒng) 套 1 3 真空轉移單元 套 1 4 氣體引入系統(tǒng) 套 1 5 排氣系統(tǒng)(旋轉泵+渦輪泵) 套 1 6 控制系統(tǒng)(觸摸屏+鍵盤) 套 1 7 說明、操作手冊 套 1  

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業(yè)績:1.符合《中華人民共和國政府采購法》第22條規(guī)定的投標人;
2.本次招標項目的資質(zhì)要求:
⑴對于國外、境外投標人,根據(jù)該國(地區(qū))的法律在經(jīng)營所在地注冊的有關證件、所投產(chǎn)品的合法來源證明(經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權函)(代理商作為投標人適用)。
⑵對于國內(nèi)投標人,提供投標人的企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書、所投產(chǎn)品的合法來源證明(經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權函)(代理商作為投標人適用)。
3.投標人在線購買招標文件前,須在必聯(lián)網(wǎng)電子招標投標平臺上傳以下證明材料的彩色掃描件:
國外、境外投標人:授權委托書、被授權委托人的身份證明、經(jīng)營所在地注冊的有關證件、經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權函(代理商作為投標人適用)、《哈爾濱工業(yè)大學招標采購項目投標報名登記表》、《投標人誠信承諾書》。
國內(nèi)投標人:授權委托書;被授權委托人的身份證;營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書;基本賬戶開戶許可證或基本存款賬戶信息單;經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權函(代理商作為投標人適用);《哈爾濱工業(yè)大學招標采購項目投標報名登記表》;《投標人誠信承諾書》。在受理投標登記后,不允許更換投標登記時擬派的授權委托人。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2020-07-22
招標文件領購結束時間:2020-07-29
是否在線售賣標書:是
獲取招標文件方式:電子下載
招標文件售價:¥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2020-08-13 09:00
投標文件送達地點:在投標截止時間前,將投標文件電子版上傳至必聯(lián)電子招標投標平臺,并使用CA鎖進行加密。
開標地點:www.ebnew.com必聯(lián)平臺開標大廳
6、聯(lián)系方式
招標人:哈爾濱工業(yè)大學
地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號
聯(lián)系人:張老師
聯(lián)系方式:86-0451- 86417955
招標代理機構:天和項目管理有限公司
地址:哈爾濱市道里區(qū)鋼鐵街115號
聯(lián)系人:王先生
聯(lián)系方式:13154501501