【康沃真空網(wǎng)】檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項真空指標(biāo)，如何快速精準(zhǔn)地找到漏點關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次世界大戰(zhàn)期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈敏度高達(dá)10-15Pa·m3/s。當(dāng)今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9~10-13 Pa·m3/。
一、氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的？
氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、接收器、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進行說明。
圖1表示氦質(zhì)譜檢漏儀的原理圖，在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成束，并以一定的速度經(jīng)由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M2恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束（如圖中M1，M3）則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
二、噴吹法檢漏
1. 噴吹法檢漏的原理
噴吹法檢漏是利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，然后在被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，檢漏儀會報警并顯示當(dāng)前漏率值。
2.噴吹法檢漏的優(yōu)缺點
優(yōu)點：①檢測靈敏度高
?、诙ㄎ粶?zhǔn)確
③對大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏可靠性高
缺點：①漏率檢測只能在一個大氣壓差內(nèi)
?、诓荒軠?zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實泄漏狀態(tài)
三、真空檢漏的具體方法
為了方便說明真空檢漏方法，我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中最為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。
1. 極限壓力合格，升壓率不合格
極限壓力合格說明設(shè)備沒有明顯漏點，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有一些較小的漏點，通常在1×10-9~9.9×10-4 Pa·m3/s之間。檢漏步驟為：
?、儆昧Π磯簹獯鼜拇殖殚y開始向爐體方向噴吹氦氣，第一遍針頭移動的速度可以快些，對設(shè)備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行全面檢漏，在焊口不規(guī)整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細(xì)致檢查。
?、诓话磯簹獯冕橆^緩慢地對可疑位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少量氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率最大且上升最快的點即是漏點。
?、巯蚋鱾€加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對可疑的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封，然后向罩中噴入氦氣，觀察檢漏儀的漏率變化，如果緩慢上升，說明被包裹的位置存在漏點。
2. 極限壓力不合格，升壓率合格
這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。檢漏步驟為：
?、贆z查機械泵與羅茨泵連接的波紋管法蘭，很容易由于波紋管法蘭膠圈沒壓好或波紋管焊口損壞造成漏氣，由于機械泵運轉(zhuǎn)的振動較大，法蘭螺栓容易松動，波紋管焊口長時間受振動也會導(dǎo)致裂紋造成漏氣。
?、跈z查壓差閥或放氣閥進氣口及機械泵、羅茨泵、擴散泵的外殼是否漏氣。放氣閥的電源被忘接或閥的磁感應(yīng)線圈被燒壞導(dǎo)致閥無法正常關(guān)閉也會導(dǎo)致漏氣。
?、廴舨襟E①和②均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片，通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓力不合格。還應(yīng)檢查真空計是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計是否滿足技術(shù)要求。
3. 極限壓力、升壓率都不合格
這種情況通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的較大漏點，檢漏步驟為：
?、儆脙?nèi)徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發(fā)現(xiàn)漏點，這時發(fā)現(xiàn)的漏點都較大，然后應(yīng)立即焊接處理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。
?、诘诙闄z漏，進行第二遍檢漏時速度要較第一遍慢些，重點檢查表面不規(guī)整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。
綜上三種問題，通過外部檢漏通常都會解決，但在多遍檢漏后問題若是仍然存在，我們就應(yīng)該考慮是否存在內(nèi)部漏點。筆者發(fā)現(xiàn)，內(nèi)漏大多來源于各種充氣閥。若要驗證，可以在閥門保持關(guān)閉的狀態(tài)下，將閥門的保護氣體一端法蘭打開一縫隙，充入氦氣檢查是否漏氣，若不漏氣，再將閥門連接好后立即充入保護氣體到管路中，如果這時檢漏儀漏率值上升，那么就可以確定充氣閥泄漏是真空指標(biāo)不合格的原因。
