凝聚態(tài)物理的方向之一就是圍繞新材料體系（包括低維和納米材料以及功能器件）的電學(xué)，光學(xué)，以及磁學(xué)特性展開(kāi)。電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)主要用于納米和微米器件加工，用于高質(zhì)量、厚度被控制精確的金屬和氧化物薄膜的生長(zhǎng)，主要生長(zhǎng)的金屬薄膜包括：鈀、鈦、鋁、金、鉑、鈮等金屬單質(zhì)，以及部分氧化物。該設(shè)備屬于高精尖產(chǎn)品，將在科研工作中發(fā)揮著重要作用。

主機(jī)主要由以下幾部分構(gòu)成：鍍膜主真空腔、真空系統(tǒng)、真空閥系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、預(yù)真空室、膜厚檢測(cè)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。

(1) 鍍膜主真空腔

不銹鋼腔體，設(shè)備采用不銹鋼雙腔室，即蒸發(fā)室和樣品室，并用插板閥隔開(kāi)，腔體門(mén)采用膠圈密封，配有觀察窗，相應(yīng)的泵、真空計(jì)接口、預(yù)真空室接口（帶等離子清洗），以及備用法蘭接口，極限真空度優(yōu)于10-9Torr。

(2) 真空系統(tǒng)

主泵采用冷凝泵（需要國(guó)外知名品牌），粗抽泵采用干泵；抽速不低于1500升/秒的低溫泵及插板閥，抽速大于7升/秒的無(wú)油機(jī)械泵；樣品室還需單配分子泵和插板閥；鍍膜室和預(yù)真空室均配有高、低真空計(jì)，粗抽管道配有皮拉尼計(jì)。

(3)真空閥系統(tǒng)

主泵和腔體配有高真空閥門(mén)，鍍膜室和預(yù)真空室間配有隔離閥，粗抽管道閥門(mén)，充氣閥門(mén)等必要的閥門(mén)。所有閥門(mén)均采用氣動(dòng)并實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)控制。樣品可在樣品室內(nèi)進(jìn)行氧化工藝處理。

(4)水冷系統(tǒng)

系統(tǒng)需要冷卻的部件必須水冷，如電子束源，冷凝泵等，并且配備必須的安全互鎖設(shè)計(jì)，以保護(hù)設(shè)備。需要提供循環(huán)冷卻水箱。

(5)電子束沉積系統(tǒng)

6KW電源，帶有變壓器和控制器，程序化束斑掃描器，（需要為世界著名廠商），產(chǎn)品一套大于（或等于）6個(gè)旋轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源，可手動(dòng)或者自動(dòng)旋轉(zhuǎn)并編程控制蒸發(fā)坩堝位置，配有氣動(dòng)擋板，方便更換材料。一個(gè)電子發(fā)射槍?zhuān)浒l(fā)射功率連續(xù)可調(diào)，保證鈀、鈧、鋁、金、鉑等金屬，非金屬材料(Al2O3等氧化物、介質(zhì)材料等)都可以從0.1A/s到5A/s速度蒸鍍。配置INFICON晶振膜厚監(jiān)控儀，能自動(dòng)控制鍍膜速率、薄膜厚度并和擋板和蒸發(fā)電源相關(guān)聯(lián)；蒸發(fā)鍍膜均勻性：≤±2% (φ2 寸硅片范圍內(nèi))；鍍膜過(guò)程中基片溫度不超過(guò)100度。

(6)預(yù)真空室（Load Lock chamber）

不銹鋼結(jié)構(gòu)，2”單基片裝載能力，必須帶有可同時(shí)自動(dòng)和手動(dòng)控制的氣動(dòng)閥門(mén)。

(7)膜厚檢測(cè)系統(tǒng)

兩個(gè)晶振探頭，另一個(gè)備用，都和計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)通訊，可以通過(guò)計(jì)算機(jī)檢測(cè)鍍膜的速度和厚度，可自動(dòng)控制或編程控制電子束蒸發(fā)源、鍍膜工藝參數(shù)及控制蒸發(fā)源擋板，鍍膜速度控制可以達(dá)到0.1A/s。

(8)控制系統(tǒng)

計(jì)算機(jī)控制腔體抽真空及充氣，冷凝泵再生，電子束蒸發(fā)源，基片旋轉(zhuǎn)等；旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)#1，轉(zhuǎn)速0-20rpm，計(jì)算機(jī)控制可調(diào)；傾角工作臺(tái)#2，計(jì)算機(jī)控制可調(diào)傾角，并可液氮冷卻

計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)編程鍍膜，一鍵式操作，多級(jí)用戶(hù)權(quán)限設(shè)計(jì)，用戶(hù)記錄和數(shù)據(jù)導(dǎo)出。

當(dāng)個(gè)別不影響鍍膜過(guò)程的部件出現(xiàn)問(wèn)題（如兩個(gè)膜厚儀中的一個(gè)，或某個(gè)可以手動(dòng)的閥門(mén)的自動(dòng)開(kāi)關(guān)功能），計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)應(yīng)允許手動(dòng)鍍膜。

     寬量程真空計(jì)（含皮拉尼計(jì)和離子規(guī)），測(cè)量范圍從大氣壓到高真空, 低溫泵和腔體之間配高真空插板閥, 一個(gè)6坩堝位（每坩堝位容量為7CC）超高真空線性導(dǎo)位電子束蒸發(fā)源（含所有饋穿件）, 氣動(dòng)蒸發(fā)源擋板, 自動(dòng)坩堝位導(dǎo)位, 6千瓦電子束槍和電源為國(guó)外知名品牌, 束斑掃描器,薄膜沉積速率控制儀帶有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)晶振探頭, PID工藝氣體壓力控制包括一個(gè)流量計(jì)和一個(gè)壓力計(jì)。

1.交貨要求

1.1交貨期的要求：簽訂合同后 120   天（日歷日）內(nèi)。

1.2投標(biāo)人必須承擔(dān)的設(shè)備運(yùn)輸、安裝調(diào)試、驗(yàn)收檢測(cè)和提供設(shè)備操作說(shuō)明書(shū)、圖紙等其他類(lèi)似的義務(wù)。

2.售后服務(wù)的要求

2.1貨物免費(fèi)保修期貳年，時(shí)間自z*終驗(yàn)收合格并交付使用之日起計(jì)算。在保修期內(nèi)，一旦發(fā)生質(zhì)量問(wèn)題，投標(biāo)人保證在接到通知24小時(shí)內(nèi)趕到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行修理或更換。

2.2投標(biāo)人應(yīng)按其投標(biāo)文件中的承諾，進(jìn)行其他售后服務(wù)工作。

3.關(guān)于驗(yàn)收

3.1投標(biāo)人貨物經(jīng)過(guò)雙方檢驗(yàn)認(rèn)可后，簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，產(chǎn)品保修期自驗(yàn)收合格之日起算，由投標(biāo)人提供產(chǎn)品保修文件。

3.2當(dāng)滿(mǎn)足以下條件時(shí)，采購(gòu)人才向中標(biāo)人簽發(fā)貨物驗(yàn)收?qǐng)?bào)告：

a、中標(biāo)人已按照合同規(guī)定提供了全部產(chǎn)品及完整的技術(shù)資料。

b、貨物符合招標(biāo)文件技術(shù)規(guī)格書(shū)的要求，性能滿(mǎn)足要求。

c、貨物具備產(chǎn)品合格證。

4.保修期內(nèi)，任何由制造商選材和制造不當(dāng)引起的質(zhì)量問(wèn)題，廠家負(fù)責(zé)免費(fèi)維修。保修期自驗(yàn)收簽字之日起計(jì)算。保修期滿(mǎn)前1個(gè)月內(nèi)賣(mài)方應(yīng)負(fù)責(zé)一次免費(fèi)全面檢查，并寫(xiě)出正式報(bào)告，如發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題，應(yīng)負(fù)責(zé)排除。

5.維修響應(yīng)時(shí)間：賣(mài)方應(yīng)在24小時(shí)內(nèi)對(duì)用戶(hù)的服務(wù)要求做出響應(yīng)，一般問(wèn)題在48小時(shí)內(nèi)解決，重大問(wèn)題或其它無(wú)法立刻解決的問(wèn)題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確的解決方案，否則賣(mài)方應(yīng)賠償相應(yīng)的損失。

序號(hào)	評(píng)分項(xiàng)				權(quán)重
1	價(jià)格				≥30
2	技術(shù)部分				53-58
	序號(hào)	評(píng)分因素	權(quán)重	評(píng)分方式	評(píng)分準(zhǔn)則
	1	技術(shù)保障措施	2	專(zhuān)家打分	在投標(biāo)文件中詳細(xì)說(shuō)明保障措施，評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行橫向比較，按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
	2	交貨期（完工期）	2	專(zhuān)家打分	在投標(biāo)文件中詳細(xì)說(shuō)明交貨期（完工期），評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行橫向比較，按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
	3	售后服務(wù)承諾	10	專(zhuān)家打分	評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)投標(biāo)文件中售后服務(wù)承諾情況進(jìn)行橫向比較，按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。不滿(mǎn)足招標(biāo)文件要求的得0分。
	4	技術(shù)響應(yīng)情況	43	專(zhuān)家評(píng)分	在投標(biāo)文件中詳細(xì)說(shuō)明響應(yīng)情況，評(píng)標(biāo)委員會(huì)根據(jù)響應(yīng)情況按優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。
3	綜合實(shí)力部分				4-5
	序號(hào)	評(píng)分因素	權(quán)重	評(píng)分方式	評(píng)分準(zhǔn)則
	1	投標(biāo)人近三年同類(lèi)業(yè)績(jī)	1	專(zhuān)家評(píng)分	提供3個(gè)同類(lèi)業(yè)績(jī)即得滿(mǎn)分，提供2個(gè)得60分，提供1個(gè)得30分，未提供的不得分。投標(biāo)人必須在投標(biāo)文件中提供每一個(gè)完工項(xiàng)目的合同和驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，否則不得分。
	2	社保情況	1	專(zhuān)家評(píng)分	請(qǐng)?zhí)峁┙齻€(gè)月社保證明書(shū)掃描件，原件備查。根據(jù)總?cè)藬?shù)評(píng)分：優(yōu)81-100分，良61-80分，中31-60分，差0分打分。未提供的得0分。
	3	納稅情況	1	專(zhuān)家評(píng)分	請(qǐng)?zhí)峁┙荒甓燃{稅證明掃描件，原件備查。根據(jù)納稅總金額評(píng)分：優(yōu)81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。
	4	獎(jiǎng)勵(lì)、獎(jiǎng)項(xiàng)、資質(zhì)、資格 （可選）	1	專(zhuān)家評(píng)分	請(qǐng)?zhí)峁┆?jiǎng)勵(lì)證明掃描件，原件備查。橫向比較優(yōu)81-100分；良61-80分；中31-60；差0分。未提供的得0分。
4	供應(yīng)商社會(huì)責(zé)任				8-10
	序號(hào)	評(píng)分因素	權(quán)重	評(píng)分方式	評(píng)分準(zhǔn)則
	1	公益慈善	1	專(zhuān)家評(píng)分	提供近3年社會(huì)公益慈善和見(jiàn)義勇為情況證明材料，未提供的不得分。
	2	不良行為記錄	1	專(zhuān)家評(píng)分	深圳企業(yè)信用網(wǎng)和政府采購(gòu)行政處罰記錄查詢(xún)企業(yè)不良記錄，有不良記錄的不得分，沒(méi)有不良記錄的得滿(mǎn)分。
	3	履約評(píng)價(jià)	5	專(zhuān)家評(píng)分	根據(jù)投標(biāo)人提交的履約評(píng)價(jià)及中心履約評(píng)價(jià)庫(kù)中資料打分。優(yōu)得100分，良得80分，中的60分，差的0分。
	4	環(huán)保執(zhí)行情況	1	專(zhuān)家評(píng)分	近三年有一次受到環(huán)境主管部門(mén)處罰的得0分，無(wú)處罰的得滿(mǎn)分。投標(biāo)人提交承諾函，若虛假應(yīng)標(biāo)將被廢標(biāo)并報(bào)主管部門(mén)處理。
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