基本信息

招標編號：S2014182A

加入日期：2015.01.07

截止日期：2015.01.16

招標業(yè)主：蘇州大學

地 區(qū)：江蘇省 蘇州市

招標公告正文

原定于2014年11月28日13：30開標的“真空鍍膜沉積系統(tǒng)”項目(招標編號：S2014182)因?qū)嵸|(zhì)性響應的投標人不足三家，現(xiàn)重新發(fā)布招標公告，歡迎具備相應資質(zhì)和實力的供應商參加投標。

一、項目名稱：真空鍍膜沉積系統(tǒng)

二、招標編號：S2014182A

三、招標人：蘇州大學國有資產(chǎn)與實驗室管理處

地址：江蘇省蘇州市東環(huán)路50號凌云樓904室

郵編：215021　　【康沃真空網(wǎng)】　　　　　傳真：0512-67165076

聯(lián)系人：張潔　　 電話：0512-67504198，67504359

電子郵箱：jzhang@suda.edu.cn

技術(shù)聯(lián)系人： 國老師　　 電話：0512-65883576，13812668621

電子郵箱：guoxia@suda.edu.cn

四、招標貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求

真空鍍膜沉積系統(tǒng)　　1套

(一)該沉積系統(tǒng)主要由樣品架系統(tǒng)、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電控系統(tǒng)以及手套箱組成，主要性能參數(shù)要求如下

1、樣品架系統(tǒng)

(1)國際知名品牌磁流體，極限真空優(yōu)于1×10-6 Pa

(2)樣品架可以容納≥20個15×15mm基片，并配備擋板

*(3)0.3mm厚度掩模板1套，切口平整光滑，需提供樣品

(4)國際知名品牌氣缸，控制擋板開關(guān)

(5)國際知名品牌伺服電機，定位精度≤0.01°，轉(zhuǎn)速：0-60 rpm，可對樣品實施360°電動勻速旋轉(zhuǎn)，可以停留在任意指定位置

2、蒸發(fā)沉積系統(tǒng)

(1)結(jié)構(gòu)簡潔，由鋁合金型材組成，占地面積不超過1.6m2

(2)真空腔體大小≥12”×12”×21”，漏率優(yōu)于1×10-10 Pa×m3/s

*(3)腔體帶有前后兩個門，前門：轉(zhuǎn)動軸式開門，位于手套箱外，用于維護和清潔，帶有2個觀察窗，配有防護擋板，可手動控制;后門： 1個觀察窗，配備移門，可左右滑動，方面連接手套

**(4)國際知名品牌可編程直流電源：電流精確到0.1A，z*多可同時完成2種材料的共同蒸發(fā)

(5)國際知名品牌膜厚系統(tǒng)，誤差≤0.05?/s，水冷探頭，數(shù)據(jù)傳輸線耐高溫，

(6)蒸發(fā)源≥6個，并配備上下打開方向的源擋板

(7)源與源之間有防止交叉污染的隔板，并方便拆洗

(8)樣品溫控，z*高300oC，±1oC

(9)國際知名品牌可編程直流電源2臺，1500W，電流精確到0.1 A

3、真空系統(tǒng)

(1)該系統(tǒng)帶有旁抽，在不關(guān)閉分子泵的情況下可以開腔取樣品

* (2)國際知名品牌分子泵抽速：N2 ≥680 L/s，轉(zhuǎn)速≥49200 rpm，極限真空優(yōu)于5×10-10 mbar，啟動時間≤3分鐘

(3)國際知名品牌前級泵抽速≥8L/s ，極限真空優(yōu)于3×10-3 mba

(4)國際知名品牌真空計測量范圍要求大氣壓到5.0×10-9 mbar

(5)國際知名品牌插板閥使用不少于10000次，極限真空優(yōu)于1×10-10 torr

(6)國際知名品牌角閥極限真空優(yōu)于1×10-6pa

(7)真空系統(tǒng)可以實現(xiàn)全自動控制

4、電控系統(tǒng)

**(1)設備控制系統(tǒng)中的真空系統(tǒng)可以實現(xiàn)自動控制，可通過PLC軟件控制自動完成抽真空操作過程，半自動控制蒸鍍過程的各個操作環(huán)節(jié)，如樣品架旋轉(zhuǎn)，蒸鍍功率調(diào)節(jié)，擋板閥的開關(guān)等

5、手套箱系統(tǒng)

(1)德國布勞恩(M.Braun)手套箱，304不銹鋼材質(zhì)，水氧含量≤1 ppm

(2)手套箱應配套水氧分析儀、再生系統(tǒng)2套

(3)可實現(xiàn)與鍍膜機對接

(4)手套箱尺寸1800×900×780，兩個手套箱由T型艙對接，并配有雙向移動滑盤

(5)前窗面板，PC材質(zhì)帶有SAPHIR鍍層，每個手套箱箱體配備4個0.4mm厚大號丁基橡膠材質(zhì)手套

(6)PLC，5.7’’觸摸屏，彩色控制系統(tǒng)，自動再生功能

(7)自動壓力控制系統(tǒng)，能將箱體內(nèi)壓力控制在 +/-15mbar之間;集成有無油循環(huán)泵：循環(huán)z*大流量 84m3/h

(8)5個DN40KF法蘭接口，8個BNC接口

6、培訓服務

(1)提供設備操作各個關(guān)節(jié)培訓

(2)提供相關(guān)蒸鍍及工藝技巧培訓

(二)配置要求

1、分子泵：1臺

2、機械泵：1臺

3、插板閥：1臺

4、真空計：1臺

5、角閥：2個

6、可編程直流電源：2臺

7、手套箱：1套

8、工控機：1臺

9、膜厚控制：2個

10、蒸發(fā)源：6個

11、樣品架：1套

12、伺服電機：1個

13、磁流體：2個

14、手套箱：2個

15、水氧分析儀、再生系統(tǒng)：2套

(三)售后服務及付款方式

1、質(zhì)保期：質(zhì)保期不少于一年

2、付款方式：貨到驗收合格后付合同總額的90%，設備正常運行一年后支付合同總額的10%

五、評分標準：

本次招標采用綜合評分法，總分為100分，具體內(nèi)容如下：

(一)技術(shù)參數(shù)、配置及整體綜合性能分(50分)

1、技術(shù)參數(shù)及配置(30分)

以投標人提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評標依據(jù)，其他情況由評委會專家根據(jù)實際情況進行評判。

(1)所投產(chǎn)品不滿足招標文件標注“**”技術(shù)條款要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏的，其投標為無效投標。

(2)所投產(chǎn)品不滿足招標文件標注“*”技術(shù)條款要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏達到3項的，作為無效投標。

(3)所投產(chǎn)品不滿足招標文件標注“*”技術(shù)條款要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項的，每處扣3分。

(4)所投產(chǎn)品不滿足招標文件未標注“*”技術(shù)條款要求的(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不清、缺漏項的，每處扣1分。

2、綜合性能情況(15分)

(1)所投產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標文件中技術(shù)條款要求情況(評委會認為超出指標有意義的)(5分)。其中優(yōu)于標注“*”項的，每處加2分，其它優(yōu)于項每處加1分。

(2)所投產(chǎn)品主要部件情況(8分)。根據(jù)投標文件中列所投產(chǎn)品所使用的主要部件生產(chǎn)廠家、品牌、型號等情況進行比較后綜合評定。

(3)所投產(chǎn)品的市場反饋情況(2分)。如所投產(chǎn)品的品牌影響力、市場占有率(同行業(yè)為主)、現(xiàn)有用戶的反饋情況以及標注使用所投產(chǎn)品發(fā)表的高水平論文情況等綜合評定。

(二)價格分(35分)

1、評標基準價：滿足招標文件要求且投標價格z*低的投標報價為評標基準價，評標基準價為滿分35分;

2、其他投標供應商的投標報價得分按照下列公式計算：投標報價得分=(評標基準價/投標報價)×35分。

(三)綜合商務(20分)

1、投標人綜合實力(4分)

(1)注冊資本(2分);

(2)財務狀況(2分)。

2、售后服務與培訓情況等(11分)

(1)質(zhì)保期(3分)。符合招標文件要求得1分，每增加一年質(zhì)保期加1分。

(2)服務、技術(shù)支持與培訓承諾情況(8分)

根據(jù)投標文件的相關(guān)承諾，在蘇州周邊地區(qū)設置服務網(wǎng)點情況、服務響應時間以及現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務情況反饋等綜合確定。

3、其它(5分)

(1)投標文件質(zhì)量(2分)。根據(jù)投標文件的規(guī)范性、完整性等情況綜合評定。

(2)其它優(yōu)惠措施等(3分)。根據(jù)投標人在投標文件中明確的在招標文件要求范圍以外，評委會認可的具體的、實在的優(yōu)惠措施。

六、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調(diào)試及驗收以及售后服務等相關(guān)商務要求，按照《蘇州大學招標采購儀器設備投標人須知》第21條中的要求執(zhí)行。

七、招標文件價格：標書每份人民幣800元(可投標時交納)，售后不退。

八、投標報名截止時間：自本公告公布之日起至2015年1月14日下午17：00止。請擬參加本項目投標的各單位務必在此時間前將投標確認函(格式見附件)送達或傳真至招標人處。

九、投標截止時間：2015年1月16日13：30。各投標人在投標前，須認真閱讀《蘇州大學招標采購儀器設備投標人須知》和本招標公告，完全了解并接受其所有條款及要求。并在截止時間之前將投標文件一式8份(其中正本1份，副本7份)送達招標人處。

十、開標時間：2015年1月16日13：30。

十一、未盡事宜，按《蘇州大學招標采購儀器設備投標人須知》中的相關(guān)條款執(zhí)行。