【康沃真空網(wǎng)】真空技術(shù)名詞術(shù)語

    一、 一般術(shù)語

    1．標(biāo)準環(huán)境條件：溫度為20℃，相對濕度為65%，大氣壓力為101325Pa。

    2．氣體的標(biāo)準狀態(tài)：溫度為0℃，壓力為101325Pa。

    3．壓力（壓強）：氣體分子從某一假想平面通過時，沿該平面的正法線方向的動量 改變率，除以該平面面積或氣體分子作用于其容器表面上的力的法向分量，除以該表面面積。

    4．帕斯卡（符號：Pa）：國際單位制壓力單位，1Pa=1N/m2。

    5．分壓力：混合氣體中某一組分的壓力。

    6．全壓力：混合氣體中所有組分壓力的總和。

    7．真空：在指定空間內(nèi)，低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài)。

    8．真空度：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示

    9．氣體：不受分子間相互作用力的約束且能自由地占據(jù)任意空間的物質(zhì)。（注：在真空技術(shù)中，“氣體”一詞不嚴格地應(yīng)用于非可凝性氣體和蒸汽。）

    10．非可凝性氣體：在臨界溫度以上的氣體，即單純增加壓力不能使其液化的氣體。

    11．蒸汽：在臨界溫度以下的氣體，即單純增加壓力能使其液化的氣體。

    12．飽和蒸汽壓：在給定溫度下，某種物質(zhì)的蒸汽與其凝聚相處于相平衡狀態(tài)下的該種物質(zhì)的蒸汽壓力。

    13．飽和度：蒸汽壓對其飽和蒸汽壓之比。

    14．飽和蒸汽：在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸汽壓的蒸汽。

    15．未飽和蒸汽：在給定溫度下，壓力小于其飽和蒸汽壓的蒸汽。

    16．分子數(shù)密度（單位：m-3）：在某瞬時，氣體中某點周圍體積內(nèi)的分子數(shù)，除以該本積。

    17．平均自由程：一個分子與其它氣體分子每連續(xù)二次碰撞走過的路程，叫自由程。相當(dāng)多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。

    18．碰撞率：在給定時間間隔內(nèi)，一個分子（或其他規(guī)定粒子）相對于其它氣體分子（或其它規(guī)定粒子）運動，受到的平均碰撞次數(shù)，除以該時間。這個平均碰撞次數(shù)是應(yīng)在足夠多的分子數(shù)和足夠長的時間間隔下取得。

    19．體積碰撞率：在給定時間間隔內(nèi)，在圍繞規(guī)定一點的空間范圍內(nèi)，氣體分子間的平均碰撞次數(shù)除以該時間和該空間范圍體積。所取時間間隔和體積不應(yīng)太小。

    20．氣體量：處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占有的體積同其壓力的乘積。此值必須注明氣體溫度或換算成20℃時的數(shù)值。

    （注：氣體量是指該量氣體所占體積內(nèi)氣體內(nèi)稟能量（或位能）的2/3。

    21．氣體的擴散：氣體由于濃度梯度而在另一種介質(zhì)中的運動。介質(zhì)可以是另一種氣體（這種情況下的擴散稱之為互擴散）或者是可凝聚物質(zhì)。

    22．?dāng)U散系統(tǒng)：通過單位面積的質(zhì)量流率的絕對值同該單位面積的法向濃度梯度之比。

    23．粘滯流：氣體分子的平均自由程遠小于導(dǎo)管最小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。

    24．粘滯系數(shù)：在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。

    25．泊肖葉流：流過圓截面長導(dǎo)管的層流粘滯流。

    26．中間流：在層流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過導(dǎo)管的流動。

    27．分子流：氣體分子的平均自由程遠大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)。

    28．克努曾數(shù)：氣體分子的平均自由程與導(dǎo)管直徑之比。

    29．分子瀉流：氣體流過薄壁小孔，其分子的平均自由程較小孔尺寸大得多的情況時的流動狀態(tài)。

    30．流逸：由壓力差引起的氣體通過多孔物體的流動。

    31．熱流逸：在分子流狀態(tài)下，兩個連通容器由于溫度不同引起了氣體流動，當(dāng)氣體傳輸達到平衡時，兩個容器之間產(chǎn)生壓力梯度的現(xiàn)象。

    32．分子流率：在給定時間間隔內(nèi)，從給定方向穿過表面的分子數(shù)與從相反方向穿過該表面的那些分子數(shù)之差，除以該時間。

    33．分子流率密度：分子流率除以表面面積。

    34．質(zhì)量流率：在給定時間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體質(zhì)量，除以該時間。

    35．流量：在給定時間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體量除以該時間。

    36．體積流率：在給定溫度、壓力和給定時間間隔的條件下通過某截面的氣體體積，除以該時間。

    37．在給定時間間隔內(nèi)通過給定截面的氣體的摩爾數(shù)，除以該時間。

    38．麥克斯韋速度分布：由麥克斯韋—波爾茲曼速度分布函數(shù)確定的一種速度分布。即氣體分子在一定溫度下處于平衡態(tài)和到器壁的距離大于分子平均自由程時的速度分布。

    39．傳輸幾率：無規(guī)律地進入導(dǎo)管入口的分子通過出口的幾率。

    40．分子流導(dǎo)：氣體通過管的兩規(guī)定截面或孔流動的分子流導(dǎo)為：其分子流率與管的兩截面或孔的兩側(cè)的平均分子數(shù)密度差之比。

    41．流導(dǎo)：在等溫條件下，氣體通過導(dǎo)管或孔流動時，其流量與導(dǎo)管的兩規(guī)定截面或孔的兩側(cè)的平均壓力差之比。

    42．固有流導(dǎo)：在容器中麥克斯韋速度分布占優(yōu)勢的條件下，連接這樣兩個容器的導(dǎo)管（或小孔）的流導(dǎo)。在分子流條件下，它等于入口流導(dǎo)與傳輸幾率之積。

    43．流阻：流導(dǎo)的倒數(shù)。

    44．吸附：固體或液體（吸附劑）對氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）的捕集現(xiàn)象。

    45．表面吸附：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）存留在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附現(xiàn)象。

    46．物理吸附：由于物理作用的吸附現(xiàn)象。

    47．化學(xué)吸附：由于化學(xué)作用的吸附現(xiàn)象。

    48．吸收：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）擴散進入到固體或液體（吸附劑）內(nèi)部的現(xiàn)象。

    49．適應(yīng)系數(shù)：入射到某一表面的粒子和該表面實際交換的平均能量與粒子在該表面上達到完全的熱平衡條件所應(yīng)當(dāng)交換的平均能量之比。

    50．入射率：在給定時間間隔內(nèi)，入射到表面的分子數(shù)，除以該時間和該表面面積。

    51．凝結(jié)率：在給定時間間隔內(nèi)凝結(jié)在某一表面積上的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量），除以該時間和該表面面積。

    52．粘著率：在給定時間間隔內(nèi)表面上吸附的分子數(shù)，除以該時間和該表面面積。

    53．粘著幾率：粘著率與入射率之比。

    54．滯留時間：分子在表面上以吸附狀態(tài)被約束的平均時間。

    55．遷移：分子在表面上的移動。

    56．解吸：被材料吸附的氣體或蒸汽的釋放現(xiàn)象。釋放可以是自然的，也可用物理方法加速。

    57．去氣：氣體從材料中人為的解吸。

    58．放氣：氣體從材料中自然的解吸。

    59．解吸氣或放氣或去氣速率：在給定時間間隔內(nèi)，從材料中解吸（或放氣或去氣）的氣體流量（或分子流率），除以該時間和該表面面積。

    60．蒸發(fā)率：在給定時間間隔內(nèi)從表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時間和該表面面積。

    61．滲透：氣體通過固體阻擋層的現(xiàn)象。該現(xiàn)象包括氣體通過固體的擴散，也可以包括其它的表面現(xiàn)象。

    62．滲透率：在穩(wěn)定流動的條件下，氣體通過阻擋層（如器壁）的流量除以阻擋層兩側(cè)壓力函數(shù)的量，該函數(shù)形式取決于實際滲透所涉及的物理過程。

    63．滲透系數(shù)：滲透率與阻擋層厚度之積，除以滲透表面積。