【康沃真空網(wǎng)】了解常用真空泵的真空度和適用范圍，可以有助于設(shè)計中進行真空泵的選型。

    1.液環(huán)泵是一種粗真空泵。液環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，所以可用于抽除易燃易爆的氣體，此外還可用于抽除含塵、含水的氣體。

    受工作液飽和蒸氣壓的限制，真空度低。用水做工作液，極限真空2000～4000Pa；用油作工作液，極限真空約130Pa。

    2.旋片泵是一種油封式機械真空泵。它可直接從大氣壓起動抽氣；可單獨做低真空泵用，也可與其他高真空泵組合作為前級泵用。

    體積小、重量輕、噪音低，特別適合實驗室使用；該泵不可用來抽含氧過高的、有毒的易爆的或與泵油發(fā)生化學作用的或?qū)谏饘儆懈g作用的氣體。極限真空≤1.3Pa。

    3.滑閥泵是一種油封式機械真空泵。常用在大型真空設(shè)備上，具有高真空、低噪音、少震動，壽命長，不易漏油的特點，可用于抽有較高溫度、有輕微粉塵和腐蝕性的氣體，特別是含少量水蒸氣的混合氣體。分為單級和雙級兩種型式。

    單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。

    4.羅茨泵是一種變?nèi)菡婵毡谩Ｌ攸c是啟動快，耗功少，運轉(zhuǎn)維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中含少量水蒸氣和灰塵不敏感，在100～1Pa壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體，不需要油潤滑。

    轉(zhuǎn)速可高達3450～4100r/min；抽氣速率為30～10000L/s。極限真空：單級泵為6.5×102Pa，雙級泵為1×103Pa。

    5.擴散泵是一種動量傳輸泵。特點是可獲得高真空，用于真空冶煉鍍膜、空間模擬實驗和對油污染不敏感的真空系統(tǒng)。極限真空為10-4～10-5Pa。

    6.往復泵是一種變?nèi)菡婵毡?，有干式和濕式之分。抽氣量范圍大，可達15～5500L/s，抽氣效率不高。

    不適用抽除腐蝕性或含微小顆粒的氣體，如果被抽氣體中含顆粒，進口處必裝過濾器。

    單級泵極限真空約為400～103Pa，雙級泵極限真空約為1Pa。