【康沃真空網(wǎng)】真空泵的分類
01 按性能特點(diǎn)和用途分類
(1)低真空泵
泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。
?。?)高真空泵
極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。
(4)超高真空泵
極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。
02 按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類
(1)機(jī)械式容積真空泵
靠機(jī)械運(yùn)動使泵腔工作容積周期變化來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機(jī)械增壓泵外,一般均可單獨(dú)使用。
(2)射流式真空泵
沒有機(jī)械運(yùn)動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。