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鈦升華泵的結(jié)構(gòu),特點及原理
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2023-09-08  閱讀

  【康沃真空網(wǎng)】01鈦升華的結(jié)構(gòu)

  鈦泵產(chǎn)生的超高真空

  該泵是一種利用鈦來排氣從而產(chǎn)生超高真空的真空泵

  與通過冷卻獲得真空的吸附泵不同,通過加熱和升華鈦在壁面上產(chǎn)生大量活性表面,與濺射離子泵或渦輪分子泵組合使用。

  鈦升華泵的應(yīng)用領(lǐng)域:

  用于加速器,分析儀器等,與濺射離子泵,低溫泵,渦輪分子泵等真空泵配合使用,縮短排氣時間,提高極限壓力,增加排氣量。

  02鈦升華泵的特點

  吸氣作用產(chǎn)生真空

  該泵是利用鈦的吸氣作用進(jìn)行排氣,可以產(chǎn)生超高真空的真空泵。

  吸氣作用是指通過吸附氣體分子來進(jìn)行排氣。

  吸氣的材料使用的是活性鈦,通過化學(xué)吸附來吸附氫氣、氧氣、氮氣、一氧化碳和活性氣體等,提高氣體的真空度。

  優(yōu)點 無油,優(yōu)異的可維護(hù)性,與離子泵并用可獲得極高真空

  缺點 惰性氣體不能排氣

  03

  鈦升華泵的原理

  蒸發(fā)的鈦吸附分子

  該泵通過加熱鈦蒸發(fā)用的燈絲使其在真空中升華,在泵內(nèi)的壁面形氣體鈦的蒸鍍膜。

  然后通過利用鈦的吸氣作用,進(jìn)行氣體的吸附,發(fā)揮排氣作用。

  即使吸附面被氣體分子填滿,通過在其表面重疊鈦的蒸鍍膜來確保吸附面。