真空網(wǎng)歡迎您!
干式真空泵相關(guān)介紹
標(biāo)簽: 真空泵
2023-04-14  閱讀

微信掃一掃分享

QQ掃一掃分享

微博掃一掃分享

  【康沃真空網(wǎng)】干式真空主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。 

  為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。

  1、干式真空泵的介紹及原理 

  立式雙螺桿干式真空泵,它的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。

  干式真空泵工作時,相互之間無摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。

  由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu),與等螺距結(jié)構(gòu)相比,極限真空更高,而消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

  兩年的備品備件是標(biāo)準(zhǔn)的O型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵,并且無需過濾器。

  最優(yōu)化的螺桿外形設(shè)計(jì)使功率消耗降到最低,簡單的設(shè)計(jì)可使泵腔在1小時內(nèi)在現(xiàn)場全部解體,易于清洗維護(hù)。

  2、獨(dú)特的冷卻方式 

  很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的縫隙被堵死,另外一個原因是由于長期運(yùn)轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子會由于熱脹冷縮而發(fā)生形變,造成泵的卡死。

  干式真空泵的冷卻方式:

  目前市面上的干泵多用夾套冷卻水對轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。

  而有的立式螺桿真空泵的冷卻系統(tǒng)更獨(dú)特,比如在泵內(nèi)增加了螺桿內(nèi)部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻,很好的維持內(nèi)表面的溫度,不至于溫度過高或過低,始終維持在一個合適的溫度,以防被抽的熱敏性物質(zhì)分解,及高溫易聚合的物質(zhì),比如HCN及MMA生產(chǎn)企業(yè)就比較適合。

  3、抽除易燃易爆及腐蝕性介質(zhì)怎么辦?

  眾所周知,腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的,溫度越高腐蝕的速率越快。

  一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。

  但是由于干式真空泵運(yùn)行時內(nèi)部存在苛刻的熱條件,所以使用上述耐腐蝕材料來處理腐蝕性介質(zhì)對無油干式真空泵是不適合的。

  此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質(zhì),一旦出現(xiàn)細(xì)微的裂紋就會導(dǎo)致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。

  那么是不是只要特殊設(shè)計(jì)能可靠地控制溫度的設(shè)備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài),沒有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了?

  答案是肯定的。該泵應(yīng)用其自身先進(jìn)的冷卻系統(tǒng),可以調(diào)整泵腔內(nèi)及轉(zhuǎn)子的溫度,使之沒有離子形式存在,全都?xì)饣?,從而避免腐蝕。

  所以此螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子采用不銹鋼,不做任何涂層,降低了成本,增加了安全性能。

  評價爆炸有兩個指標(biāo):可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。

  因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內(nèi)沒有摩擦,所以不會產(chǎn)生電火花,就沒有了火源。

  另外其通過自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到,從而杜絕爆炸!

  4、干式真空泵的密封  

  泵內(nèi)既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封,因此可以抽除有毒有害介質(zhì)。

  絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個軸只有一處無接觸密封,不存在由軸封損傷帶來的停機(jī),以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里,造成真空環(huán)境及排氣口污染。

  5、控制系統(tǒng)的組成

  干式真空系統(tǒng)還具有最佳的控制系統(tǒng),有獨(dú)立的工作站和總線,能很好的解決了溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、電機(jī)同步、開停機(jī)、閥門開關(guān)和泵本身自清洗控制等問題,并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點(diǎn),增強(qiáng)了系統(tǒng)的安全性,使干泵系統(tǒng)能適應(yīng)化工、制藥里最嚴(yán)苛的環(huán)境。

  主要由以下三部分組成:內(nèi)置基本驅(qū)動模塊;數(shù)據(jù)總線控制柜;冷卻液泵的控制和防爆馬達(dá)控制中心。

  6、干式真空泵的特點(diǎn)

  有些真空泵是兩個電機(jī)同步驅(qū)動,在確保全速和扭矩控制的同時,保證在泵運(yùn)行時維持無部件相互接觸;

  無密封設(shè)計(jì),確保無泄露;

  通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。

  由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度,從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng);輕松的輸送腐蝕性介質(zhì),安全的輸送易燃易爆氣體。

  1)清潔環(huán)保;2)真空度高;3)防腐設(shè)計(jì)(專利技術(shù));4)可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體(專利技術(shù));5)特殊軸封設(shè)計(jì),杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染;6)防過載設(shè)計(jì);7)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn);8)高標(biāo)準(zhǔn)配置;9)附件配置齊全;10)優(yōu)質(zhì)健全的零配件供應(yīng)。

  7、總結(jié)

  干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢,雖然現(xiàn)在用的還不多,除了價格高原因外,還有用戶對干式真空泵的了解不到位,看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟(jì)效益,但是干式真空泵使工作容積中無油,因此帶來了不少益處。

  有些立式螺桿真空泵通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度,從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng);輕松的輸送腐蝕性介質(zhì),安全的輸送易燃易爆氣體。

  適于處理含固體微粒介質(zhì)并且不需要加過濾器。最小的維護(hù)要求,該泵無齒輪箱,同時對于泵無需更換和檢測潤滑系統(tǒng)。具有20,000 小時平均無故障時間;

  完全電子智能化設(shè)計(jì),可以很方便地全方位與DCS系統(tǒng)聯(lián)接,通過Modem聯(lián)接可以實(shí)現(xiàn)就地和遠(yuǎn)程控制;

  輔助模塊的模塊化設(shè)計(jì)可以滿足大量的乃至是最苛刻的流程的應(yīng)用;

  設(shè)計(jì)可以滿足不同的壓力要求:壓力比可高達(dá) 100,000:1 (吸入壓力< 0.01 mbar 絕壓);吸氣量可達(dá)1,000 m3/h (更大吸氣量的泵在開發(fā)中,目前可用機(jī)械的增壓泵與干式泵組合來滿足對大的吸氣量的要求);

  噪音水平低于75Db(A)(噪音低于高檔轎車內(nèi)部分貝)

  維修方便,可以快速和方便地拆卸和更換泵的內(nèi)件。