【康沃真空網(wǎng)】一、中央清掃真空系統(tǒng)HV(House Vacuum)
又稱中央真空除塵系統(tǒng),廣泛存在于電子行業(yè)、化工行業(yè)、以及制藥等行業(yè)中。
1.1系統(tǒng)組成
中央真空清掃系統(tǒng)是由吸塵主機(jī)(如下圖所示)、控制系統(tǒng)、吸塵管路、吸塵閥門、吸塵操作組件:真空清掃口(邊墻型/地板型)、清掃口連接彎頭(邊墻型)、清掃口連接件(地板型)、開關(guān)盒等構(gòu)成。真空吸塵系統(tǒng)是一種高負(fù)壓,低流量的除塵系統(tǒng)的統(tǒng)稱。這一系統(tǒng)往往被應(yīng)用于電子行業(yè)制造車間環(huán)境的清掃。應(yīng)用這一系統(tǒng)的用戶往往對粉塵捕集的要求非常高,生產(chǎn)過程采用的加工設(shè)備屬于高精密加工設(shè)備,防塵要求高。
1.2工作原理
中央真空清掃系統(tǒng)運(yùn)行時,粉塵通過吸塵嘴被有效的吸入到真空管網(wǎng)內(nèi)部,在真空負(fù)壓的作用下,被吸進(jìn)的粉塵隨氣流沿著負(fù)壓管路被抽入吸塵器內(nèi)部。首先大顆粒粉塵經(jīng)過進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)流板,在離心力的作用下,落入機(jī)器下方的集塵桶內(nèi);密度極輕粉塵隨氣流繼續(xù)向上運(yùn)動。粉塵進(jìn)入中央吸塵主機(jī)過濾室時,被過濾器分離,清潔的空氣由真空吸塵機(jī)排風(fēng)出口經(jīng)消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵通過系統(tǒng)自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成。。
1.3中央清掃裝置特征:
集中的收集廢棄物并且能夠自動的排除氣體或液體。
創(chuàng)造一個更加安全更加干凈的潔凈室工作環(huán)境。
真空清掃系統(tǒng)一般放置在清潔室的外機(jī)房或者放到遠(yuǎn)離有危險的區(qū)域。
每一套裝置都設(shè)計的可以連續(xù)一天24小時工作,連續(xù)一周7天工作。
二、制程真空PV( Plant vacum)
工藝真空系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè),需要有極高的運(yùn)作性能和可靠性。隨著電子廠自動化程度越來越高,很多機(jī)器都需要真空作為設(shè)備的動力。大部份的真空度要求在-0.06MPa -0.09MPa 左右。其中芯片廠主要用于wafer的吸取及移動以及如下設(shè)備:
IMP機(jī)臺(MIC);
PH機(jī)臺(MCT,DSS,MSR,DCT,KLA,SEM,AIT,LOM);
ET機(jī)臺(CDE,UVC);
TF機(jī)臺(PEO,SCR,XRF);
CMP機(jī)臺(ILD,WWW,STI,BGR);
量測機(jī)臺(HTK,PRO)
PV pump一般位于fab,采用N+1配置方式,設(shè)置真空儲罐(>5m3)
各機(jī)臺之POU點(diǎn)經(jīng)sub-main到main-pipe再到tank,再經(jīng)過pump排入一般排氣系統(tǒng)。
常用系統(tǒng)參數(shù):真空度(負(fù)壓值)PV值一般不會小于0.9bar,使用值:70~260Torr/-40~100Torr;
流量:9~110 LPM;
接管尺寸:1/4“, 3/8 “
制程真空系統(tǒng)的組成:
由真空泵、 PLC 程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、過濾總成等組成的真空系統(tǒng)。
控制邏輯:設(shè)定真空系統(tǒng)的上下限值,啟動系統(tǒng)后,其中一臺真空泵開始工作,直到真空罐內(nèi)真空度高于上限值,此時真空泵自動停止,真空罐內(nèi)真空由真空止回閥自動截止。
如因工作需求真空罐內(nèi)真空度降至低于下限值時,另一臺真空泵自動啟動直到真空罐內(nèi)真空度抽到上限值超過一定時間,而單臺真空泵不能將罐內(nèi)真空度抽至下限以上時,另一臺真空泵將自動啟動,直到超過上限。
運(yùn)行特點(diǎn):裝置一般自第一次啟動后,全部運(yùn)行過程可以實(shí)現(xiàn)全自動控制。其工作中,真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度始終在其允許范圍內(nèi)上下波動,其波動范圍可根據(jù)用戶要求進(jìn)行調(diào)整。第一臺啟動達(dá)不到真空時第二臺啟動至達(dá)到設(shè)定的真空值當(dāng)達(dá)到后第一臺停再第二臺停循環(huán)工作,裝置在無人操作情況下對系統(tǒng)進(jìn)行自動控制,在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護(hù)真空泵馬達(dá)過載及短路。
工藝真空示意圖
三、工藝高真空(high vacuum)
與house vacuum不同,F(xiàn)AB 中許多工藝設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中會產(chǎn)生許多的廢氣和危害性氣體,機(jī)臺在重新運(yùn)轉(zhuǎn)前必須有計劃有步驟的清除這些有害的副產(chǎn)品。這樣可以減少設(shè)備自身產(chǎn)生的污染,減少廢品。
設(shè)備中收集這種副產(chǎn)品的部件叫氣室(chamber)。為了清潔氣室,必須使用高真空系統(tǒng)。也就是用真空Pump把機(jī)臺內(nèi)的廢氣通過高真空管路抽出來,經(jīng)過Scrubber 處理后排放到Exhaust system,從而保持設(shè)備的清潔和正常運(yùn)轉(zhuǎn),也保持環(huán)境的清潔。
一端與設(shè)備連接,另一端與泵連接的這段管叫做高真空管 “Pumping- Line”(vent )。
另外還有一種管,一端連到泵的輸出端而另一端連到工藝排風(fēng)系統(tǒng)。許多設(shè)備都有幾種氣室,必須把廢氣用泵抽出來,從而保持設(shè)備的清潔,相應(yīng)的就有不同的高真空管和泵來配套。為了確保這種廢氣排放工藝有效運(yùn)行,在安裝設(shè)計高真空管時必須小心。尤其要考慮到如何確保氣泵最有效的工作。這就需要抽氣系統(tǒng)越短越好,所受限制越少越好,因此high vacuum泵一般都安放在SUBFAB,位于相關(guān)設(shè)備的正下方或盡可能靠近相關(guān)設(shè)備的正下方(如下圖)。
與Plant vacuum相比較,High vacuum一般參數(shù)如下:
真空度 0.01~10mTorr左右;
使用值:0.1~10mTorr;
流量:LPM(由工藝確定);
尺寸:1/4“,3/8 “,2 “, 3 “,4 “,5 “ ,6 “;
主要Pump類型品牌:BOC、Edwards、Ebara等;
主要scrubber類型:電加熱吸附(帶水洗)式;燃燒(帶水洗,酸堿中和)式;及循環(huán)水洗式等。