【康沃真空網(wǎng)】一、中央清掃真空系統(tǒng)HV（House Vacuum）

　　又稱中央真空除塵系統(tǒng)，廣泛存在于電子行業(yè)、化工行業(yè)、以及制藥等行業(yè)中。

　　1.1系統(tǒng)組成

　　中央真空清掃系統(tǒng)是由吸塵主機(jī)（如下圖所示）、控制系統(tǒng)、吸塵管路、吸塵閥門、吸塵操作組件：真空清掃口（邊墻型/地板型）、清掃口連接彎頭（邊墻型）、清掃口連接件（地板型）、開關(guān)盒等構(gòu)成。真空吸塵系統(tǒng)是一種高負(fù)壓，低流量的除塵系統(tǒng)的統(tǒng)稱。這一系統(tǒng)往往被應(yīng)用于電子行業(yè)制造車間環(huán)境的清掃。應(yīng)用這一系統(tǒng)的用戶往往對粉塵捕集的要求非常高，生產(chǎn)過程采用的加工設(shè)備屬于高精密加工設(shè)備，防塵要求高。

　　1.2工作原理

　　中央真空清掃系統(tǒng)運(yùn)行時，粉塵通過吸塵嘴被有效的吸入到真空管網(wǎng)內(nèi)部，在真空負(fù)壓的作用下，被吸進(jìn)的粉塵隨氣流沿著負(fù)壓管路被抽入吸塵器內(nèi)部。首先大顆粒粉塵經(jīng)過進(jìn)風(fēng)口導(dǎo)流板，在離心力的作用下，落入機(jī)器下方的集塵桶內(nèi)；密度極輕粉塵隨氣流繼續(xù)向上運(yùn)動。粉塵進(jìn)入中央吸塵主機(jī)過濾室時，被過濾器分離，清潔的空氣由真空吸塵機(jī)排風(fēng)出口經(jīng)消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵通過系統(tǒng)自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成。。

　　1.3中央清掃裝置特征：

　　集中的收集廢棄物并且能夠自動的排除氣體或液體。

　　創(chuàng)造一個更加安全更加干凈的潔凈室工作環(huán)境。

　　真空清掃系統(tǒng)一般放置在清潔室的外機(jī)房或者放到遠(yuǎn)離有危險的區(qū)域。

　　每一套裝置都設(shè)計的可以連續(xù)一天24小時工作，連續(xù)一周7天工作。

　　二、制程真空PV（ Plant vacum）

　　工藝真空系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)，需要有極高的運(yùn)作性能和可靠性。隨著電子廠自動化程度越來越高，很多機(jī)器都需要真空作為設(shè)備的動力。大部份的真空度要求在-0.06MPa -0.09MPa 左右。其中芯片廠主要用于wafer的吸取及移動以及如下設(shè)備：

　　IMP機(jī)臺（MIC）；

　　PH機(jī)臺（MCT，DSS，MSR，DCT，KLA，SEM，AIT，LOM）； 

　　ET機(jī)臺（CDE，UVC）； 

　　TF機(jī)臺（PEO，SCR，XRF）；

　　CMP機(jī)臺（ILD，WWW，STI，BGR）；

　　量測機(jī)臺（HTK，PRO）

　　PV pump一般位于fab，采用N+1配置方式，設(shè)置真空儲罐（>5m3）

　　各機(jī)臺之POU點(diǎn)經(jīng)sub-main到main-pipe再到tank,再經(jīng)過pump排入一般排氣系統(tǒng)。

　　常用系統(tǒng)參數(shù)：真空度（負(fù)壓值）PV值一般不會小于0.9bar，使用值：70~260Torr/-40~100Torr；

　　流量：9~110 LPM；

　　接管尺寸：1/4“, 3/8 “

　　制程真空系統(tǒng)的組成：

　　由真空泵、 PLC 程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、過濾總成等組成的真空系統(tǒng)。

　　控制邏輯:設(shè)定真空系統(tǒng)的上下限值，啟動系統(tǒng)后，其中一臺真空泵開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度高于上限值，此時真空泵自動停止，真空罐內(nèi)真空由真空止回閥自動截止。

　　如因工作需求真空罐內(nèi)真空度降至低于下限值時，另一臺真空泵自動啟動直到真空罐內(nèi)真空度抽到上限值超過一定時間，而單臺真空泵不能將罐內(nèi)真空度抽至下限以上時，另一臺真空泵將自動啟動，直到超過上限。

　　運(yùn)行特點(diǎn)：裝置一般自第一次啟動后，全部運(yùn)行過程可以實(shí)現(xiàn)全自動控制。其工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度始終在其允許范圍內(nèi)上下波動，其波動范圍可根據(jù)用戶要求進(jìn)行調(diào)整。第一臺啟動達(dá)不到真空時第二臺啟動至達(dá)到設(shè)定的真空值當(dāng)達(dá)到后第一臺停再第二臺停循環(huán)工作，裝置在無人操作情況下對系統(tǒng)進(jìn)行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護(hù)真空泵馬達(dá)過載及短路。

　　工藝真空示意圖

　　三、工藝高真空（high vacuum）

　　與house vacuum不同，F(xiàn)AB 中許多工藝設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中會產(chǎn)生許多的廢氣和危害性氣體，機(jī)臺在重新運(yùn)轉(zhuǎn)前必須有計劃有步驟的清除這些有害的副產(chǎn)品。這樣可以減少設(shè)備自身產(chǎn)生的污染，減少廢品。

　　設(shè)備中收集這種副產(chǎn)品的部件叫氣室(chamber)。為了清潔氣室，必須使用高真空系統(tǒng)。也就是用真空Pump把機(jī)臺內(nèi)的廢氣通過高真空管路抽出來,經(jīng)過Scrubber 處理后排放到Exhaust system，從而保持設(shè)備的清潔和正常運(yùn)轉(zhuǎn)，也保持環(huán)境的清潔。

　　一端與設(shè)備連接，另一端與泵連接的這段管叫做高真空管 “Pumping- Line”(vent )。

　　另外還有一種管，一端連到泵的輸出端而另一端連到工藝排風(fēng)系統(tǒng)。許多設(shè)備都有幾種氣室，必須把廢氣用泵抽出來，從而保持設(shè)備的清潔，相應(yīng)的就有不同的高真空管和泵來配套。為了確保這種廢氣排放工藝有效運(yùn)行，在安裝設(shè)計高真空管時必須小心。尤其要考慮到如何確保氣泵最有效的工作。這就需要抽氣系統(tǒng)越短越好，所受限制越少越好，因此high vacuum泵一般都安放在SUBFAB，位于相關(guān)設(shè)備的正下方或盡可能靠近相關(guān)設(shè)備的正下方（如下圖）。

　　與Plant vacuum相比較，High vacuum一般參數(shù)如下:

　　真空度 0.01~10mTorr左右；

　　使用值：0.1~10mTorr；

　　流量：LPM(由工藝確定)；

　　尺寸：1/4“，3/8 “，2 “， 3 “，4 “，5 “ ，6 “；

　　主要Pump類型品牌：BOC、Edwards、Ebara等；

　　主要scrubber類型：電加熱吸附（帶水洗）式；燃燒（帶水洗，酸堿中和）式；及循環(huán)水洗式等。