【康沃真空網(wǎng)】一、低溫真空泵的原理與結(jié)構(gòu)
低溫真空泵是一種利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵,又叫冷泵、冷凝泵,一般是以低溫液體(液氮或液氦)或低溫制冷機為冷源。
二、低溫真空泵應(yīng)用領(lǐng)域有哪些
低溫泵適合用于需要高真空度的領(lǐng)域,尤其適合應(yīng)用于要求潔凈無油或快速抽氣的場合,例如半導(dǎo)體與集成電路前工序、光學(xué)鍍膜、太陽能電池板、光電子器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜等領(lǐng)域。
三、低溫真空泵的原理與結(jié)構(gòu)
低溫真空泵主要由泵殼、障板和冷屏、冷頭、二級冷板等組成,其作用原理是:依靠冷源提供的冷量使表面氣體被冷到低溫冷凝時壓力下降,不冷凝氣體在低溫下被固體吸附劑吸附,從而達到排氣的效果,獲得潔凈真空,低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。
四、低溫真空泵的優(yōu)點
1、高極限真空度
標準的低溫真空泵,其極限真空度可達10-7Pa,必要時,在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa,而理論上,甚至于達到10-11Pa以上極高真空。
2、大抽速
低溫真空泵的抽速較快,尤其對水具有超高的抽速,其遠高于其它真空泵,低溫泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快,可以大大提高產(chǎn)品產(chǎn)出量。
3、潔凈
低溫泵是真正的潔凈無油、抽速高的高真空泵,它是利用低溫冷板來冷凝、吸附氣體而獲得和保持真空,在真空區(qū)域任何沒有運動部件,沒有油,所有清潔無污染。
4、運行成本低
低溫真空泵可大大減少電能消耗,尤其是大口徑泵。就抽速而言,低溫泵僅需1/3的能耗就可以達到與擴散泵同等的效果。
5、安全可靠
低溫真空泵的真空腔內(nèi)無運動部件,來自外界的干擾或來自真空系統(tǒng)的微粒不影響工作;同時,由于低溫泵回溫具有一定“慣性”,可在突然停電的情況下,有效地保護真空腔體內(nèi)真空,不至于被鍍工件受到影響。
6、使用方便
低溫泵對安裝方位沒要求,可以泵口超上、泵口朝下、水平位置安裝或以腔體需要的任何角度安裝。
7、使用壽命長
低溫真空泵運動部件少且低速運行,通過日常的保養(yǎng)維護,低溫泵的正常的使用壽命可達5~6萬小時,有的甚至超過8萬小時。
五、低溫真空泵的缺點
1、需要降溫時間(準備時間)。
2、需要再生。
3、購置成本高。