【康沃真空網(wǎng)】真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

　　近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

　　隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求。

　　由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。

　　為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。

　　常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。

　　一、真空泵分類(lèi)

　　關(guān)于真空泵的分類(lèi)，我們之前有篇文章很詳細(xì)的介紹了，大家想回顧的話(huà)可以點(diǎn)擊下方藍(lán)字鏈接：

　　真空泵的分類(lèi)

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

　　按其性能特點(diǎn)及用途分類(lèi)可以分為：低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。

　　1.低真空泵： 極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

　　2.中真空泵： 極限壓力在102~10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。

　　3.高真空泵： 極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。

　　4.超高真空泵：極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。主要用各種離子泵、低溫泵等。

　　二、真空泵的工作壓力范圍及起動(dòng)壓強(qiáng)

　　三、性能參數(shù)

　　四、術(shù)語(yǔ)定義

　　1、真空的定義

　　真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。

　　2、真空度

　　處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

　　3、真空度單位

　　通常用托（Torr）為單位，國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。

　　1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

　　4、托與帕的轉(zhuǎn)換

　　1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

　　5、平均自由程

　　作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ”表示。

　　6、流量

　　單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

　　7、流導(dǎo)

　　表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。U=Q/(P2- P1)

　　8、壓力或壓強(qiáng)

　　氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。

　　9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

　　壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。

　　10、極限真空

　　真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱(chēng)為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

　　11、抽氣速率

　　在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱(chēng)為抽氣速率，簡(jiǎn)稱(chēng)抽速。即Sp=Q/（P－P0）

　　12、冷阱（水冷擋板）

　　置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

　　13、氣鎮(zhèn)閥

　　油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開(kāi)閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門(mén)稱(chēng)為氣鎮(zhèn)閥。

　　14、真空冷凍干燥

　　真空冷凍干燥，也稱(chēng)升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。

　　15、真空蒸鍍

　　在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱(chēng)為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

　　16、真空干燥

　　利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。

　　17、真空系統(tǒng)常用名稱(chēng)

　　①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿(mǎn)足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。

　?、谇凹?jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

　?、鄞殖楸茫簭拇髿鈮合麻_(kāi)始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。