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反映真空質(zhì)量——分壓力測(cè)量
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2022-04-20  閱讀

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  【康沃真空網(wǎng)】在超高真空下,氣體的成分常常是極不相同的。在氣體成分未明的情況下,超高真空計(jì)的讀數(shù)就無法確定其對(duì)應(yīng)的壓力。如果電離真空計(jì)是以空氣或氮校準(zhǔn)的,所測(cè)得的壓力值為與混合氣體離子流總和相對(duì)應(yīng)的等效空氣壓力或等效氮壓力。

  由于電離真空計(jì)對(duì)不同氣體的相對(duì)靈敏度相差很大,因此,電離真空計(jì)對(duì)混合氣體測(cè)得的等效氮壓力不是混合氣體的真實(shí)壓力,有時(shí)甚至?xí)袛?shù)量級(jí)的誤差。為了測(cè)量真空中混合氣體組分和相應(yīng)的分壓力值,必須進(jìn)行分壓力測(cè)量,所用的儀器稱為分壓力真空計(jì)。由分壓力真空計(jì)測(cè)得的混合氣體各組分分壓力之和才是其全壓力,這就同時(shí)給出了真空的量與質(zhì)兩個(gè)方面。

  分壓力真空計(jì)是專用的小型質(zhì)譜儀器——真空質(zhì)譜計(jì)。目前的分壓力真空計(jì),大多數(shù)由于精度不夠高,只能用于分析氣體各種成分的存在并估計(jì)其大小,尚未能進(jìn)行定量測(cè)定,這時(shí)稱為殘余氣體分析器。

  作為分壓力真空計(jì)或殘余氣體分析器的真空質(zhì)譜計(jì)都屬于電離類型的,按原子離子或分子離子的質(zhì)荷比進(jìn)行分析,分析有三個(gè)階段:

  1、在離子源中用電子碰撞的辦法將氣體電離。

  2、在質(zhì)量分析器中利用磁偏轉(zhuǎn)、共振、飛行時(shí)間不同等質(zhì)量分離技術(shù),將離子按質(zhì)荷比不同進(jìn)行分離。

  3、檢測(cè)器(或離子收集極)接收分離的離子,將離子流放大,在顯示裝置上顯示出每一質(zhì)荷比的離子流強(qiáng)度。

  真空質(zhì)譜計(jì)能掃描1~50u,以至l~300u的質(zhì)量范圍,并能分辨相隔1u的相鄰離子。

反映真空質(zhì)量——分壓力測(cè)量

  圖23:真空質(zhì)譜計(jì)質(zhì)譜圖

  圖23給出了儀器的輸出,即各種離子的電流按其質(zhì)量大小排列的譜線圖,又稱質(zhì)譜圖。

反映真空質(zhì)量——分壓力測(cè)量

  圖24:殘余氣體分析質(zhì)譜圖

  圖23是理想情況,也稱之為“質(zhì)譜棒圖”。實(shí)際測(cè)得結(jié)果往往是如圖24所示的情況??梢娋€條已被一些峰所代替。