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羅茨真空泵抽速和壓縮比
標(biāo)簽: 真空泵
2015-06-01  閱讀

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氣體循環(huán)冷卻羅茨和前級泵抽速和壓縮比抽速和壓縮比是羅茨泵的特征性能數(shù)據(jù)。理論抽速 Sth = S0是泵在無反壓力下置換的體積流量。在無氣體置換(入口法蘭關(guān)閉)操作時的壓縮比 K0 取決于出口壓力 p2。抽速范圍從 200 m3 · h -1 到幾千 m3 · h-1。典型的 K0 值在 10 和 75之間。

壓縮比受到兩方面的不利影響:

■■ 回流到活塞和殼體之間的間隙
■■ 通過活塞表面吸附而沉積在出口側(cè)并在轉(zhuǎn)向吸入側(cè)后又重新解吸的氣體。在出口壓力為 10-2 至 1 hPa 的情況下,分子流在密封間隙中占主導(dǎo)地位,由于其低電導(dǎo)率,這導(dǎo)致少量回流。然而,通過吸附被吸回的氣體體積,這與泵送的氣體體積相比相對較高,降低了壓縮比。

在 1 至 10 hPa 范圍內(nèi),K0 是z*高的,因為分子流因泵密封間隙的低入口壓力而仍然占主導(dǎo)地位,因此回流較低。由于通過吸附的氣體輸送不是壓力的作用,它遠(yuǎn)沒有通過抽速輸送的壓力比例氣體流量重要。

羅茨真空泵抽速和壓縮比

在壓力超過 10 hPa 時,間隙中出現(xiàn)層流且間隙電導(dǎo)率顯著增加,這導(dǎo)致壓縮比下降。這種影響在氣冷羅茨泵中特別明顯,該泵實現(xiàn)的壓縮比僅約為 K0 = 10。

間隙寬度對壓縮比具有重大影響。然而,由于活塞與殼體不同的熱膨脹,它們不得低于一定的z*小值,以避免轉(zhuǎn)子和定子接觸。