預(yù)真空鎖和非腐蝕性氣體

ACP 120 是水冷式多級羅茨泵的入門級機型。ACP 系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。然而，ACP 系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下，使用惰性氣體，其中，采用惰性氣體幕保護軸承，且過程氣體通過在泵級中引入惰性氣體進行稀釋。

ACP 120 即可作為獨立泵操作也可與羅茨泵組合作為 ACG600 泵站進行操作，該泵站是工業(yè)應(yīng)用的理想解決方案，且受益于半導(dǎo)體行業(yè)腐蝕性氣體版本設(shè)計。ACP/ACG 泵通過其無摩擦設(shè)計非常適合于清洗過程。它們實現(xiàn)了優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和長的維護間隔。

半導(dǎo)體行業(yè)的鎖泵在其命名中用“L”代表“預(yù)真空鎖”。與上述的 ACP 120 相比，它們配備了殼體和調(diào)節(jié)器。不管電源電壓和頻率如何，變頻器確保了整體可重現(xiàn)性性能參數(shù)。

L 系列泵裝有運行時間計數(shù)器、狀態(tài)燈，并可在本地和遠程控制模式中任一模式下進行操作。

入口和出口法蘭裝在泵的后部以及輸入輸出接口處，這使其可連接至半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的控制單元。串行接口可任選用于啟動該泵，例如，要連接至監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)。水冷卻和可選的節(jié)能選項連接也位于泵的后部（見 Figure 4.13）。

集成在泵殼中的可選節(jié)能選項（節(jié)能，ES）將泵耗電量減少了 50%。因此，操作者的擁有成本顯著降低。除節(jié)能之外，A 100 L ES 可實現(xiàn)極限壓力為 7 · 10-4 hPa。噪音水平也降低了 3 dB(A)。

通過保持泵的表面不受約束，單元也可堆疊起來，因此z*大限度地減少在半導(dǎo)體晶圓廠無塵室或地下室中所占的空間。
得益于其z*小占用空間、可堆疊性、即使在氣壓下的高抽速、節(jié)能選項、低極限壓力和高可靠性與長期穩(wěn)定性組合，L系列是所有預(yù)真空鎖過程的理想解決方案。

低z*終壓力和降低了的噪音水平使其對分析和研發(fā)應(yīng)用極具吸引力。