近年來，水冷螺桿泵和下節(jié)中描述的多級羅茨泵已經(jīng)取代越來越多的先前在高抽速段 (100 – 600 m3 · h-1) 中占主導(dǎo)地位的油潤滑旋片式真空泵。

螺桿泵的優(yōu)勢包括：
■■ 在氣體置換區(qū)域沒有潤滑劑
■■ 被泵送介質(zhì)無任何污染
■■ 無工作液處理問題
■■ 因內(nèi)部壓縮而產(chǎn)生的較高效率
■■ 在 1 和 1,000 hPa 之間幾乎恒定的抽速。
■■ 良好的液體和灰塵耐受性
■■ 羅茨泵理想的前級泵這使得 HeptaDry 螺桿泵非常適合于化學(xué)應(yīng)用或產(chǎn)生灰塵的工藝，如用于晶體生長或如果產(chǎn)生大量的冷凝物。

在恒溫冷卻中，水流量將取決于以下參數(shù)：入口壓力、氣體類型、轉(zhuǎn)速和泵大小。由于水流冷卻，幾乎沒有熱被耗散到大氣中。這減少了任何現(xiàn)有空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的熱負(fù)荷并降低其能量消耗。

初級螺桿泵的應(yīng)用概述：
■■ 干燥、冷凍干燥
■■ 電子束焊接
■■ 冶金
■■ 涂料
■■ 預(yù)真空鎖
■■ 化學(xué)應(yīng)用