其無烴的吸入室使隔膜泵特別適合作為具有 Holweck 階段的渦輪分子泵的前級泵。甚至兩極隔膜泵可實(shí)現(xiàn)極限壓力大約為 5 hPa。對于 Holweck 渦輪分子泵的前級泵，這已足夠了。清潔真空特別利于分析和研發(fā)應(yīng)用。無氣鎮(zhèn)，隔膜泵也不置換水蒸氣。即使高真空設(shè)備壁解吸的少量水蒸氣也可以使隔膜泵的極限壓力急劇上升。然而，一些隔膜泵配備了氣鎮(zhèn)閥，該閥根據(jù)專利方法操作。為此，允許氣體進(jìn)入兩極隔膜泵第一級和第二級之間的連接通道，而且這通過一個小孔與第一級的吸入室連接。

如果較大量的水分聚集且使用無氣鎮(zhèn)的隔膜泵，則必須在上游連接合適的分離器或冷卻陷阱，以防止在泵中形成大量的冷凝物。但是極限壓力將會增高。