Pascal 系列中抽速等級在 5 和 21 m3 · h-1 之間的旋片式真空泵內建有交流或直流電動機。入口和出口法蘭可垂直或水平完美結合或使配件可以連接。除標準范圍外,也可提供具有強制潤滑和兩個不同腐蝕性氣體的 I 系列。
SD 系列
專為非腐蝕性氣體而設計。天然潤滑(抽速等級達 21 m3 · h-1)排氣裝置的排油量。在長期操作過程中,泵的低溫能夠將z*終壓力下的回流減少到z*低。
正如其他泵中抽速等級達 21 m3 · h-1 一樣,該泵軸封可接近,而無需拆卸泵體,因此現(xiàn)場保養(yǎng)非常容易。
I 系列
I 系列泵配備了強制潤滑。與 SD 系列相比,這提高了水蒸汽耐受性。強制潤滑使 I 系列可以實現(xiàn)非常低的噪音水平和低振動。
C1 系列
由于 FPM 密封件和氧化鉻涂層軸以及殼體、葉片、軸套和視鏡使用特殊材料,C1 系列中的強制潤滑泵特別適合于腐蝕性的氣體應用。本系列中兩個z*大的機型還集成了油過濾器和油液套管沖洗裝置。
C1 系列配有礦物油。
C2 系列
C2 系列泵也配備了強制潤滑。這些泵防腐蝕性氣體設備、泵具有軸承潤滑、用于工作液脫氣的中性氣體沖洗設備以及特殊葉片材料的使用使其優(yōu)于 C1 系列。該系列中兩個z*大的機型也配備了油壓力傳感器和油溫傳感器的連接。有了這種防腐蝕性氣體設備,Pascal C2 泵特別適合于半導體制造中蝕刻和涂層工藝的使用。
C2 系列配有全氟化的工作液。