讓我們認(rèn)定真空泵具有抽速 S0 和壓縮比 K0。該泵通過縫隙具有回流損失,回流流導(dǎo)率為 CR.。讓入口壓力為 且排氣壓力為 。抽速為 Sb 的附加泵被連接到出口側(cè)。例如,這可以是羅茨泵組或渦輪分子泵組。
抽速為 S 的整個(gè)泵組提供氣體量
公式 4-2:泵組合的氣體流量
對于回流流導(dǎo)率 CR,以下公式適用,其中 CR << S0
公式 4-3:回流流導(dǎo)
且對于實(shí)際壓縮比
公式 4-4:實(shí)際壓縮比
使用以上公式,因此得出兩極泵站的抽速 S 將為
公式 4-5:抽速遞推公式
該公式也可以用作多個(gè)抽吸階段的遞推公式,該等抽吸階段通過z*后階段以抽速 Sb 開始和插入前階段的 K0 和 S0 以串聯(lián)連接。