真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真空泵可以沒有限制地使用，而氣體粘合真空泵具有有限的氣體吸收能力，并且必須在一定的過程相關間隔進行再生。

氣體容積式泵，也被稱為氣體輸送泵，被分類為往復容積式泵或動能真空泵。容積泵將密封區(qū)域的氣體置換到大氣或下游泵級中。動能泵通過機械驅(qū)動系統(tǒng)或通過在抽吸部分結(jié)束時冷凝的引導蒸汽流在抽吸方向?qū)怏w進行加速來置換氣體。氣體粘合真空泵通過吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式將氣體粘合到特別的活性襯底上?；瘜W吸附是通過被稱為吸氣泵的泵類型在技術(shù)上進行的，該吸附泵通過蒸發(fā)和/或升華或濺射不斷地產(chǎn)生純凈的吸氣面。如果要結(jié)合的氣體粒子在與吸氣面進行相互作用之前在離子吸氣泵中被電離了，則它們可通過濺射清潔吸氣面的同時被濺射的材料掩蓋。非蒸散型吸氣劑 (NEG) 包括反應性高的合金，其主要由鋯或鈦組成，并且具有非常大的比表面積。氣體可以通過微孔滲透到吸氣材料的深層里，并在那里結(jié)合成穩(wěn)定的化合物。