我國從20世紀(jì)60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：ZQJ系列菜些新型號氮質(zhì)譜檢漏儀。

目前ZQJ系列氦質(zhì)譜檢漏儀有：ZQJ-220、ZQJ-230D、ZQJ-230E、ZQJ-240、ZQJ-291等新型號產(chǎn)品，由北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司生產(chǎn)。

①ZQJ-220型氦質(zhì)譜檢漏儀具有常規(guī)和逆擴(kuò)散兩種檢漏方式，檢測范圍寬，自動(dòng)閥門控制系統(tǒng)可防止誤操作，采用油擴(kuò)散泵作為高真空抽氣泵，需要較長的啟動(dòng)時(shí)間和液氮。

②ZQJ-230D型氦質(zhì)譜檢漏儀采用逆擴(kuò)散檢漏，可在較高壓力下開始檢漏。采用了渦輪分子泵和機(jī)械泵組成的抽氣系統(tǒng)，啟動(dòng)快。該儀器既可用于抽空檢漏，也可用于吸槍檢漏。

技術(shù)指標(biāo)：

響應(yīng)時(shí)間 <3s

z*小可檢漏率 3×10^ -1lPa·m³/S

啟動(dòng)時(shí)間 < 8min

漏率顯示范圍 2×10 ^-11Pa.I113/S—1×10^ -4Pa·m³/S

允許檢漏口z*高工作壓力(普通) 20Pa—50Pa

儀器體積 600mm×540mm×920mm

③ZQJ-230E型氦質(zhì)譜檢漏儀有一個(gè)獨(dú)立的預(yù)抽泵。特別適合于大容積系統(tǒng)檢漏。操作檢漏過程的電磁閥用一單片機(jī)控制，可靠靈活。ZQJ-230E型氦質(zhì)譜檢漏儀是以全套(3個(gè))電磁閥替換ZQJ-230型儀器的手動(dòng)閥，避免了操作人員的誤操作。ZQJ-230E塑氦質(zhì)譜檢漏儀采用逆擴(kuò)散檢漏，所以能在較高壓力下開始檢漏。儀器本身的高真空系統(tǒng)采用了渦輪分子泵和機(jī)械泵組成的排氣系統(tǒng)，啟動(dòng)快。它采用手動(dòng)組合閥完成檢漏的全過程操作(預(yù)抽、檢漏和放氣)。用50個(gè)發(fā)光條和相應(yīng)的數(shù)字量程指數(shù)顯示漏率。ZQJ-230E既可用于抽空檢漏，亦可用于吸槍檢漏。

技術(shù)指標(biāo)：

響應(yīng)時(shí)間<3s

z*小可檢漏率5 × 10 ^-llPa·m³/s

啟動(dòng)時(shí)間< 8min

漏率顯示范圍2 ×10^-11Pa, m3/s～ 1 × 10 ^-4Pa.m3/s

允許檢漏口z*高工作壓力(普通)20Pa～ 50Pa

儀器體積 540mm×500mm×950mm

④ZQJ-240型氦質(zhì)譜檢漏儀采用了渦輪分子泵和機(jī)械泵組成的抽氣系統(tǒng)，具有常規(guī)和逆擴(kuò)散兩種檢漏方式，自動(dòng)閥門控制系統(tǒng)可防止誤操作，其自動(dòng)量程轉(zhuǎn)換和報(bào)廢點(diǎn)設(shè)置功能適合快速循環(huán)檢漏。

技術(shù)指標(biāo)：

z*小可檢漏率 5×10^ - 12Pa·m³/s

響應(yīng)時(shí)間 <3s

啟動(dòng)時(shí)間 <10min

漏率顯示范圍 2×10 ^-12Pa·m³/s—8×10^ -2Pa·m³/s

儀器體積 600mm×650mm×1030mm