我國(guó)從20世紀(jì)60年代初期開(kāi)始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標(biāo)分述如下：4.ZLS-23型氮質(zhì)譜襝漏儀

此儀器是一種單級(jí)1806磁偏轉(zhuǎn)型儀器。結(jié)構(gòu)小巧，便于移動(dòng)，對(duì)機(jī)械泵及擴(kuò)散泵冷卻風(fēng)扇采取了減振措施，離子流的前級(jí)放大器使用了DC-4B靜電計(jì)管，儀器靈敏度高。

(1)性能指標(biāo)

靈敏度：不用液氮，調(diào)整閥完全打開(kāi)時(shí)為6.7×10-8Pa.L/s，用液氮，部分關(guān)閉調(diào)速閥時(shí)為10^-10Pa. L/s;

反應(yīng)時(shí)間：不大于3s;

質(zhì)譜室工作壓力：低于10^-2Pa;

儀器啟動(dòng)時(shí)間：不大于2h;

液氮消耗：1L/24h;

人口法蘭處的抽速：5L/s;

功率消耗：1kW。

(2)儀器主要組成(圖13-37)

質(zhì)譜室：氦離子軌道半徑R= 10mm，磁場(chǎng)強(qiáng)度H=175kA/m～199kA/m，離子加速電壓為100V左右。質(zhì)譜室內(nèi)有：陰極、離化室、加速極(引出極)、中間縫隙、抑制柵、收集極、放大器前級(jí)靜電計(jì)管DC-4B及高電阻。

真空系統(tǒng)：前級(jí)泵是2X-O.5型機(jī)械泵。主泵是抽速為120L/s的風(fēng)冷三級(jí)油擴(kuò)散泵，泵口設(shè)有擋油板，擴(kuò)散泵的功率用負(fù)反饋可控硅控制電路來(lái)調(diào)節(jié)，使加熱電流可穩(wěn)定在±5%之內(nèi)，從而保證抽速的穩(wěn)定。系統(tǒng)共有五個(gè)閥門：三個(gè)電磁閥，兩個(gè)手動(dòng)閥。節(jié)流閥裝在外接法蘭與質(zhì)譜室之間，用來(lái)控制質(zhì)譜室內(nèi)的工作壓力;粗抽閥用于預(yù)抽被檢件;放氣閥用于對(duì)機(jī)械泵和質(zhì)譜室放大氣;抽速閥用于調(diào)節(jié)主泵對(duì)質(zhì)譜室的抽速，它與冷阱配合可使儀囂的靈敏度進(jìn)入10^-10Pa.L/s數(shù)量級(jí)，此閥還可以使質(zhì)譜室與擴(kuò)散泵隔離，以便在不停擴(kuò)散泵的情況下對(duì)質(zhì)譜室進(jìn)行檢修。此外，因擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱和停止加熱的20min內(nèi)反油率較大，關(guān)閉此閥可減少油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染;前置閥可使機(jī)械泵與擴(kuò)散泵隔離;在前置閥與擴(kuò)散泵之間有一個(gè)容積為1.25L的貯氣罐，用于穩(wěn)定擴(kuò)散泵的前級(jí)壓力。當(dāng)前置閥關(guān)閉后，擴(kuò)散泵可以繼續(xù)工作20min。高真空部分有一個(gè)容量為1L的液氮冷阱，加入液氮可縮短系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，以及防止由被檢件產(chǎn)生的水蒸氣、油蒸氣及其它污物對(duì)質(zhì)譜室的污染。冷阱加入液氮后，可關(guān)小抽速閥，減少儀器的本底和噪聲，提高儀器的靈敏度。真空系統(tǒng)高真空部分的真空度用潘寧規(guī)測(cè)量，前級(jí)壓力用熱阻規(guī)測(cè)量。

供電線路：包括離子流放大器、音響裝置、離子源電源、潘寧規(guī)電源、真空保護(hù)繼電器、擴(kuò)散泵加熱的可控硅穩(wěn)流源、電磁閥電源等。