我國從20世紀60年代初期開始研制、生產氦質譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產的國產儀器有10余種，現將6104型氦質譜檢漏儀性能、指標分述如下：它是一種1800單級磁偏轉型儀器，是在HZJ-1型這類儀器的基礎上改進而成的。特點是：被檢件、節(jié)流閥、質譜室與真空系統(tǒng)串聯(lián)，采用水冷擴散泵，電子線路穩(wěn)定，靈敏度為6.7×10^-8Pa. L/s。由于增加了預抽閥、放氣閥、控制閥和前置閥，并附有標準漏孔，使用和維修都比較方便。其方塊圖如圖13-35所示。

(1)技術性能

靈敏度為6.7×10^- 8Pa. L/s，反應時間與清除時間均不大于3s。

(2)儀器的主要組成

質譜室：質譜室位于磁鐵的中央，內有陰極、電離室、加速極、離子閘、抑制柵、離子收集極、潘寧真空規(guī)、電測管和高阻等。磁場強度H= 115kA/m，離子加速電壓300V～400V(可調)。

真空系統(tǒng)：前級泵是2X-1墅機械泵。主泵是K-70型三級水冷油擴散泵，泵入口有水冷機械阱，防止油蒸氣進入質譜室。儀器裝有水壓繼電器，斷水后可自動報警并切斷擴散泵電源。系統(tǒng)上有五個閥門和一個前級真空罐，因此，儀器可以在擴散泵持續(xù)工作的情況下更換燈絲和更換被檢件。

利用控制閥可調節(jié)泵對質譜室的抽速，以調節(jié)儀器的靈敏度。