我國從20世紀60年代初期開始研制、生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀，此后，在儀器的研制生產(chǎn)方面有了飛速的發(fā)展。已正式投產(chǎn)的國產(chǎn)儀器有10余種，現(xiàn)將部分儀器性能、指標分述如下：1、HZJ-1型、TL-1型和JLH-1型氦質(zhì)譜檢漏儀

它們在結(jié)構(gòu)上是完全相同的，性能上也比較接近。下面僅以HZJ-1型為例加以介紹。

(1)技術(shù)性能

儀器靈敏度：5×10^-7Pa. L/s;

工作真空：2×10^-2Pa。

(2)儀器的主要組成

儀器的方塊圖如圖13-34所示。儀器由兩大部分組成：真空部分——包括節(jié)流閥、冷阱、質(zhì)譜室、擴散泵、機械泵等。電器部分——包括放大器、振蕩器、發(fā)射電流穩(wěn)定器、穩(wěn)壓電源等。儀器箱架由角鐵制成，電氣部分裝在箱架的前半部，真空部分裝在后半部，操縱面板傾斜安裝在箱架的頂部。儀器底部裝有滾輪。

此儀器的真空系統(tǒng)中只設(shè)有一個節(jié)流閥(沒有前級閥、抽速閥、放氣閥)，也沒有前級真空指示，使用與維修不太方便。