用于真空殘余氣體分析的質(zhì)譜計都可用來檢漏(其示漏物質(zhì)可用氫、氦、氬等)，但檢漏靈敏度各不相同，見表13-14。自20世紀40年代把質(zhì)譜計用于檢漏之后，檢漏技術(shù)有了長足的發(fā)展。

專門用來檢漏的質(zhì)譜計叫質(zhì)譜檢漏儀。其特點是靈敏度高，性能穩(wěn)定。特別是用氦做示漏氣體的質(zhì)譜檢漏儀，是真空檢漏中靈敏度z*高、用得z*普遍的一種檢漏儀器。