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鹵素檢漏儀
標(biāo)簽: 檢漏儀
2014-12-03  閱讀

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當(dāng)鉑加熱到800℃~900℃時(shí)會(huì)產(chǎn)生正離子發(fā)射,在鹵素氣氛中這種正離子發(fā)射將急劇增加,這就是所說(shuō)的“鹵素效應(yīng)”。利用此效應(yīng)而設(shè)計(jì)的檢漏儀禰為鹵素檢漏儀,其原理如圖13-24所示。它的敏感元件是一個(gè)二極管,這個(gè)二極管的內(nèi)、外筒及加熱絲都是用鉑制成的。內(nèi)筒被熱絲加熱后發(fā)射正離子,外筒收集正離子,離子流的大小可用檢流計(jì)(或經(jīng)放大器放大后)指示出來(lái),也可用音響來(lái)指示。有的儀器的敏感元件沒(méi)有內(nèi)筒而直接用加熱的鉑絲做發(fā)射極。加熱絲的供電可用直流或交流電源。

鹵素檢漏儀

根據(jù)使用條件不同,鹵素檢漏器可分為兩類:敏感元件與待檢系統(tǒng)相連的稱為固定式鹵素檢漏儀;不與待檢系統(tǒng)連接的稱為攜帶式鹵素檢漏儀。前者在檢漏時(shí)需要將被檢系統(tǒng)抽到10- tPa—10Pa的真空度,示漏氣體(鹵素氣體)通過(guò)漏孔從外面進(jìn)入系統(tǒng)中,并進(jìn)入敏感元件所在空間。攜帶式鹵素檢漏儀則要求被檢系統(tǒng)預(yù)先充以高于一個(gè)大氣壓的示漏氣體,儀器探頭(敏感元件)在大氣中工作,將通過(guò)漏孔漏到外面來(lái)的示漏氣體由探頭檢示出來(lái)。

鹵素檢漏儀的z*小可檢漏率可達(dá)10^ -7Pa.L/s。示漏氣體采用氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等鹵素化合物,其中以氟里昂-12(CC12F2)效果z*好。