①回旋共振頻率
以上各式中
Eo-高頻電場峰值[V/cm];
B-磁感應強度[T];
M-共振離子質量[u];
Ro-電子束與離子收集極間的距離[ cm];
i+--離子流[A];
i。——電子束電流[A];
p-壓力[Pa]。
回旋質譜計的突出優(yōu)點是:零件少;電極薄;體積小;其電極可用高頻加熱除氣,因而放氣少;幾乎沒有“記憶效應”。特別適宜對超高真空小體積作殘氣分析。
回旋質譜計的缺點是:需用磁場;操作不便;不能用電子倍增器檢測,使z*小可檢分壓力受到限制;質標非線性;譜線自動記錄復雜。
回旋質譜計的基本原理是由希普爾( Hipple)等在1949年提出的。托馬斯(Thomas)等在1951年s*次制成質譜計。1954年阿爾伯特( Alpert)等制成簡單型回旋質譜計,并用來分析超高真空下的殘余氣體,大大地推進了超高真空技術的發(fā)展。國外許多工作者也報道了簡單型回旋質譜計的性能研究結果。1960年克洛普弗( Klopfer)研制了一種可以去除非共振離子空間電荷影響的復雜型回旋質譜計。質譜計的靈敏度可保持在10%范圍內不變,使定量分析成力可能。這種質譜計的缺點是結構比較復雜、參數(shù)調整困難、內部電極不易徹底除氣。許多使用者對簡單型回旋質譜計的定量分析精度極為關心。我國蘭州物理研究所對簡單型回旋質譜計的定量特性作了深入研究。研究結果表明,只要參數(shù)選擇適當,簡單型回旋質譜計的靈敏度的重復性可保持在20%以內(包括長期工作后靈敏度的穩(wěn)定性和各管間靈敏度的重復性),是能滿足一定要求的定量分析工作的。為了改善回旋質譜計的分辨本領,文獻[230]報道了一種掩埋離子收集極式回旋質譜計。這種質譜計的分辨本領幾乎要比具有相同磁場強度的傳統(tǒng)回旋質譜計高一個數(shù)量級。其原理是,利用非共振離子在收集極附近的軌道半徑的增量小于共振離子的半徑增量的特性,在掩埋收集極前留一定寬度的空隙,不讓非共振離子打上收集極,從而提高了儀器的分辨本領。
我國研制回旋質譜計的情況是:1960年s*次由成都電訊工程學院研制成功,1963年中國科學院電子研究所對簡單型回旋質譜計的工作特性進行了詳細的研究,1965年中國科學院蘭州物理研究所研制出定量精度為20%的簡單型回旋質譜計的成套設備。此外,南開大學、復旦大學、北京電子管廠、虹光電子管廠和華東電子管廠等單位對回旋質譜計的埋論、結構和應用都做了很多工作。