圖16-46是液氦低溫泵緒構(gòu)示意圖。圖16-47是該系統(tǒng)構(gòu)成示意圖。實(shí)驗(yàn)對(duì)象是液氦低溫泵本身及其測(cè)試罩。該測(cè)試罩以法蘭直接與低溫泵相連，其上法蘭有調(diào)制BA規(guī)，用來(lái)測(cè)量系統(tǒng)真空度。殘余氣體分析和系統(tǒng)檢漏采用帶倍增器的四極質(zhì)譜分析儀（QMG-101型）。低溫冷卻使用液氮。