所謂液氦冷凝泵，是指一種靠低溫介質(zhì)(液氦)將固體表面冷卻到極低溫度(≤4K)，使沸點(diǎn)高于這一溫度的碰撞氣體被冷凝在該低溫表面上，從而產(chǎn)生很大抽氣作用的泵。其抽氣機(jī)制是物理吸附過程。

從理論上講，這種泵具有一系列顯著的特色：

①在10-1Pa—10-10Pa這樣一個(gè)寬的壓力范圍內(nèi)都具有較大的抽速，而且其比抽速可接近于理論值;

②極限壓力低，可達(dá)10-10Pa范圍;

③抽氣基本元選擇性(只有氦氣除外，來自金屬真空系統(tǒng)的氨氣通常也是極其稀少的);

④實(shí)際抽氣能力大，且在理論上沒有限制;

⑤極清潔，真空系統(tǒng)不會(huì)受到泵的任何污染;

⑥易于并能夠完全再生;

⑦無振動(dòng)、無噪聲、無電磁場等。

在實(shí)際中要做成這樣一種比較完美的實(shí)用泵則要解決一系列的難題。主要考慮的問題是如何克服氫氣的“反常特性”和如何減小液氦耗量，從而提高泵的工作壽命。