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利用渦輪分子泵獲得極高真空

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2014-07-26 閱讀

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渦輪分子泵對所有氣體都能抽氣，且對分子量大的氣體其壓縮比也大，它是一種理想的清潔泵。影響分子泵極限壓力的因素主要是人口端泵體內表面和轉子零件表面的材料放氣。它對輕的氣體壓縮比小，又不容易把抽速做得很大，這就限制了它的更廣泛的應用。目前的極高真空系統(tǒng)尚沒有用分子泵做主泵的。