極高真空的獲得是建立在超高真空技術(shù)之上的。在非常低的壓力下，維持泵的抽氣作用是個(gè)重要問(wèn)題。由于多數(shù)真空泵在超高真空范圍內(nèi)抽速就開(kāi)始降低，因此許多真空泵在極高真空范圍其抽氣作用已經(jīng)停止或者大大地減小了。選用一些在非常低的壓力下仍然有實(shí)際抽速的泵是能否獲得極高真空的關(guān)鍵。有些泵（如油獷散泵）的抽速并不減小，但由于工作介質(zhì)、材料放氣等因素，使得要獲得低于泵的極限壓力的工作壓力非常困難。為此使用這類泵時(shí)，在利用它抽氣的同時(shí)，也要用阱阻擋泵的返流。