泵體內(nèi)的氣體或蒸氣流返回到真空室里的現(xiàn)象叫做返流。在極高真空系統(tǒng)中，由于系統(tǒng)的極限壓力低，返流對(duì)極限壓力的影響尤為顯著。對(duì)極高真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，所有的泵都是氣源。為了減少泵對(duì)真空室的返流，在泵和真空室之間常常連接一個(gè)阱以阻擋氣體的返流。假定阱的捕獲效率為口，，放氣量為Qp，泵的抽速為S。那么泵經(jīng)過(guò)阱返流的氣體所產(chǎn)生的壓力為  對(duì)真空室的返流量為 　為泵到真空室間的流導(dǎo)。要減小返流量Q返，降低P泵，就要增加阱的捕獲系數(shù)ar。冷凍鈦升華阱就是一種捕獲效率較高的阱。