有人用熱化學(xué)平衡理論處理真空系統(tǒng)的殘余氣體的相互作用，建立了由它們剖起的平衡壓力方程式。然后用熱力學(xué)的方法求出這些反應(yīng)產(chǎn)生的氣體的平衡分壓力，這是處理真空系統(tǒng)殘余氣體的一個(gè)新的嘗試。 　　利用系統(tǒng)內(nèi)或表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的事實(shí)，可以用來(lái)減少難以排除的氣體，即通過(guò)化學(xué)反應(yīng)將難以排除的氣體轉(zhuǎn)變?yōu)橐子谂懦臍怏w。村上義夫提出把殘余的H2氧化成水蒸氣，然后用液氮冷阱把水蒸氣抽除掉，就是這方面的一個(gè)努力。