在極高真空領(lǐng)域，氣體和固體表面相互作用，以及固體內(nèi)部溶解的氣體和固體表面相互作用而發(fā)生化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的氣體是一個(gè)重要的氣源。不銹鋼中的碳擴(kuò)散到金屬表面，與氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成一氧化碳。在真空系統(tǒng)中，加熱金屬燈絲后，水蒸氣、一氧化碳及甲烷的分壓增加了。這些氣體的增加與氫的存在有關(guān)。降低氫的分壓以后，這些氣體的分壓隨著也降低。