真空設(shè)備對環(huán)境的要求詳解

　　真空對環(huán)境的要求一般包括真空設(shè)備對所處實驗室(或車間)的溫度、濕度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求，和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面的要求兩個方面。這兩個方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用;而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清潔，直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下，用油封機(jī)械泵去抽氣，要達(dá)到預(yù)期的真空度是很難的。眾所周知，油封式機(jī)械泵不適宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油起化學(xué)反應(yīng)的以及含有顆粒塵埃的氣體。

　　

　　水蒸氣為可凝性氣體，當(dāng)泵大量抽除可凝性氣體時，對泵油的污染會更加嚴(yán)重，結(jié)果使泵的極限真空下降，破壞了泵的抽氣性能。

　　

　　工業(yè)環(huán)境中的粉塵是以粉狀體、煙霧體、粉塵來區(qū)分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合，而顆粒是指能夠一個一個計數(shù)的微小物質(zhì)。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈懸浮狀態(tài)存在于氣體中的物質(zhì)體系。物質(zhì)無論是固體或液體，凡是呈顆粒狀態(tài)的均可統(tǒng)稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標(biāo)準(zhǔn)，從而制訂出潔凈室的等級，不僅適合于有潔凈要求的工業(yè)部門，也適合于真空對潔凈環(huán)境的要求。

　　

　　常規(guī)真空工藝對環(huán)境的要求

　　

　　所謂常規(guī)真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程。這類真空裝置(設(shè)備)對真空衛(wèi)生的要求是：

　　

　?、俜彩翘幱谡婵諣顟B(tài)或真空中的真空設(shè)備的零件或表面，都要求無積存的污染源。表面無塵埃、無鐵屑、無銹蝕。

　　

　?、谡婵赵O(shè)備的真空室表面要光滑，無松軟組織和氣孔，無死空間，內(nèi)焊縫無影響真空的缺陷。

　　

　　③高真空設(shè)備中，真空室內(nèi)的運動部件不得用機(jī)油作潤滑劑，要用飽和蒸氣壓低的擴(kuò)散泵油、硅油作潤滑劑。法蘭、大門、觀察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

　　

　?、軣o油超高真空系統(tǒng)(也稱“清潔的超高真空系統(tǒng)”)應(yīng)避免油蒸氣影響工作介質(zhì)的純度、表面特性或工作性能，為某種工藝過程提供清潔的超高真空環(huán)境。

　　

　　有些部位可使用無氧銅、可伐合金、純金、純銀、鎢、鉭、鉬、鈦等。絕緣材料常用玻璃和真空瓷。而高分子聚合物由于可能分解出碳?xì)浠衔镂廴鞠到y(tǒng)，不能使用。飽和蒸氣壓較高的材料，如鋅及其合金也不能使用。

　　

　　超高真空系統(tǒng)中材料的出氣是限制真空度上升的重要因素。一方面采用清洗、拋光、把零部件放在真空柜中保存或真空預(yù)熱除氣等方法降低出氣速率，以改善材料的原始處理情況。另一方面還可以采用真空系統(tǒng)高溫烘烤除氣的辦法，加速材料的出氣過程，使材料表面吸附和吸收的氣體分子加速放出并被排出，冷卻后材料的出氣速率會降低幾個數(shù)量級。因此，對于一般需要達(dá)到10-7Pa以下壓力的真空系統(tǒng)，都必須烘烤除氣。

　　

　　⑤真空設(shè)備一般應(yīng)在溫度為15℃～30℃，相對濕度不高于70%的清潔的空氣流通的環(huán)境中工作，冷卻水進(jìn)水溫度不高于25℃。

　　

　　真空設(shè)備所在的實驗室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機(jī)械泵工作時排出的氣體對實驗室環(huán)境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法，將氣體排出室外。