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超高真空空間環(huán)境模擬設(shè)備

  圖9-20為我國(guó)一臺(tái)大型空間環(huán)境模擬設(shè)備真空系統(tǒng)原理圖。

超高真空空間環(huán)境模擬設(shè)備
  
  真空室直徑7m,高12m,容積為400rrr3。真空容器用厚18mm不銹鋼卷制而成,每隔1.3m有一盒形加強(qiáng)環(huán)。為了減小不銹鋼(1Cr18Ni9Ti)出氣量,內(nèi)壁拋光到R。1.6。
  
  真空室大門法蘭采用雙道橡膠密封,兩個(gè)密封圈之間抽真空,以減小密封圈漏氣量。法蘭厚150mm,分五段拼焊而成。焊后需要消除焊接應(yīng)力,在900℃下保溫2h,空氣中冷卻來達(dá)到熱處理。
  
  真空抽氣系統(tǒng)由擴(kuò)散機(jī)組、20K氣氦板組成。擴(kuò)散泵機(jī)組由四臺(tái)K-1200擴(kuò)散泵,四臺(tái)ZL11羅茨泵、兩臺(tái)H-8機(jī)械泵組成。粗抽用兩臺(tái)V-6型機(jī)械泵。擴(kuò)散泵入口配有直角液氮冷阱和氟里昂-12冷卻的人字形擋板。擴(kuò)散泵工作24h后泵的極限真空為2×10-6Pa;而泵的有效抽速為18000L/so氣氦板在16K時(shí),真空度為5×10-4Pa—l×10-5Pa;對(duì)氮的抽速為230萬(wàn)L/s,對(duì)氧的抽速為220萬(wàn)L/s,對(duì)氬的抽速為155萬(wàn)L/s。真空室的z*終壓力為3.8×10 - 6Pa.
標(biāo)簽: 真空  

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