超高真空空間環(huán)境模擬設(shè)備

　　圖9-20為我國(guó)一臺(tái)大型空間環(huán)境模擬設(shè)備真空系統(tǒng)原理圖。

　　
　　真空室直徑7m，高12m，容積為400rrr3。真空容器用厚18mm不銹鋼卷制而成，每隔1.3m有一盒形加強(qiáng)環(huán)。為了減小不銹鋼(1Cr18Ni9Ti)出氣量，內(nèi)壁拋光到R。1.6。
　　
　　真空室大門法蘭采用雙道橡膠密封，兩個(gè)密封圈之間抽真空，以減小密封圈漏氣量。法蘭厚150mm，分五段拼焊而成。焊后需要消除焊接應(yīng)力，在900℃下保溫2h，空氣中冷卻來達(dá)到熱處理。
　　
　　真空抽氣系統(tǒng)由擴(kuò)散泵機(jī)組、20K氣氦板組成。擴(kuò)散泵機(jī)組由四臺(tái)K-1200擴(kuò)散泵，四臺(tái)ZL11羅茨泵、兩臺(tái)H-8機(jī)械泵組成。粗抽用兩臺(tái)V-6型機(jī)械泵。擴(kuò)散泵入口配有直角液氮冷阱和氟里昂-12冷卻的人字形擋板。擴(kuò)散泵工作24h后泵的極限真空為2×10-6Pa;而泵的有效抽速為18000L/so氣氦板在16K時(shí)，真空度為5×10-4Pa—l×10-5Pa;對(duì)氮的抽速為230萬(wàn)L/s，對(duì)氧的抽速為220萬(wàn)L/s，對(duì)氬的抽速為155萬(wàn)L/s。真空室的z*終壓力為3.8×10 - 6Pa.