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超高真空插板閥型式與性能參數(shù)(4)

  北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限公司生產(chǎn)手動(CC型)、電動(CCD型)、氣動(CCQ型)三種超高真空插板閥,使用壓力范圍為1.01×105Pa~10-7Pa。
  
  CC系列超高真空手動插板閥外形尺寸及技術(shù)性能參數(shù)見表7-49。(CCD-250型電動超高真空插板閥外形尺寸及性能參數(shù)見表7-50。CCQ系列超高真空氣動插板閥,適用于105Pa~10-7Pa,z*佳安裝位置為水平安裝,垂直安裝時(shí)應(yīng)避免氣缸沖下。外形尺寸及性能參數(shù),見表7-51。
超高真空插板閥型式與性能參數(shù)(4)
超高真空插板閥型式與性能參數(shù)(4)
標(biāo)簽: 超高真空插板閥  

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