超高真空插板閥型式與性能參數(shù)（4）

　　北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限公司生產(chǎn)手動(CC型)、電動(CCD型)、氣動(CCQ型)三種超高真空插板閥，使用壓力范圍為1.01×105Pa~10-7Pa。
　　
　　CC系列超高真空手動插板閥外形尺寸及技術(shù)性能參數(shù)見表7-49。(CCD-250型電動超高真空插板閥外形尺寸及性能參數(shù)見表7-50。CCQ系列超高真空氣動插板閥，適用于105Pa~10-7Pa，z*佳安裝位置為水平安裝，垂直安裝時(shí)應(yīng)避免氣缸沖下。外形尺寸及性能參數(shù)，見表7-51。