國(guó)產(chǎn)超高真空CF法蘭型式及尺寸

　　CF法蘭由不銹鋼材料制成，適用于10-6Pa以上的超高真空。密封墊圈材料為無氧高導(dǎo)銅，允許高溫烘烤，使用溫度范圍為-196℃—450℃。法蘭尺寸符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。
　?、貱F內(nèi)焊法蘭結(jié)構(gòu)尺寸見表6-80。

　?、贑F對(duì)焊、內(nèi)焊松套法蘭結(jié)構(gòu)尺寸見表6-81。

　?、跜F盲法蘭、活套盲法蘭結(jié)構(gòu)尺寸見表6-82。

　　④CF法蘭銅墊密封圈見表6-83。