真空密封：斜楔密封型式、尺寸

　　斜楔密封，屬真空密封中的常見(jiàn)金屬密封。(見(jiàn)表6-21)

　　
　　斜楔密封( conflat)的刀口角度為70°，高度為1mm~1.5mm，深度公差為±0.075mm～0.1mm，刀尖圓角半徑為0.1mm，刀口直徑誤差為0.05mm，墊圈材料為寬6mm、厚2mm～3mm的無(wú)氧高導(dǎo)銅。采用這種密封結(jié)構(gòu)的真空系統(tǒng)，經(jīng)250℃5h高溫烘烤后，能使真空系統(tǒng)獲得2.6×10-9Pa的真空度。