真空密封：平面法蘭密封型式、尺寸

　　真空密封中，超高真空平面法蘭型式、尺寸如下表6-31


　　
　　平面法蘭是金屬密封法蘭型式中z*簡單的一種，如圖6-17所示，其密封面沒有配合問題，表面粗糙度(Ra1.6—Ra0. 25)容易達到。主要缺點是密封圈的定位問題不易解決，另外由于接觸面較大需要很大的密封力。一般只適用于小直徑的法蘭連接密封。
　　
　　平面法蘭常用的密封材料有鋁、銅和金。
　　
　　在制作純度為99.99%、直徑小于1mm的鋁絲0形圈時，須在350℃退火1h，使用前要用NaOH或稀硝酸清洗。+0. 92mm的鋁絲壓縮到0.28mm時須施加1600MPa的壓力，在這種情況下可以和不銹鋼形成冷焊，并能耐250℃～370℃的高溫烘烤。鋁絲O形圈的價格雖然便宜，但只能使用一次。另外鋁絲表面有一層氧化膜，因而焊接困難，為了避免鋁的氧化，可在鋁表面鍍銦或改用A1-Si合金(si(3～5)%)。A1-Si合金墊圈不僅能耐400℃～500℃高溫，而且不怕水銀，可用于水銀擴散泵系統(tǒng)。
　　
　　銅絲0形圈常使用直徑為1.5mm的無氧高導(dǎo)銅(OFHC)，它在氫氣中熔焊后，放入溫度為950℃燒氫爐中燒氫處理。銅絲0形圈能耐450℃高溫烘烤，但銅在高溫烘烤中容易產(chǎn)生硬的氧化層。銅圈表面鍍銀(銀層厚度不小于5μm)就可以避免氧化。銅比鋁和金的硬度大，需要的密封力更大，為了克服這一缺點做成特殊形狀的墊圈如圖6-18所示。


　　
　　金絲O形圈材料為99.7%純金。黃金的突出優(yōu)點是化學穩(wěn)定性好，耐腐蝕，長期暴露在空氣中不氧化，質(zhì)軟容易加工，延展性特別好。用過的金絲可回收重新拉絲使用、損耗很少。缺點是價格昂貴。常用的金絲直徑為0.5mm—2mm，壓縮量取50%左右，按20MPa的壓緊力來確定螺栓數(shù)目。金絲O形圈接頭處可采用圖6-19中專用夾具熔接。