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渦輪分子泵結(jié)構(gòu)原理

  渦輪式分子的結(jié)構(gòu)示意圖和渦輪葉片展開圖,如圖3-72及圖3-73所示。
  渦輪式分子泵的轉(zhuǎn)子和定子都裝有多層渦輪葉片,轉(zhuǎn)子與定片葉片的傾斜面方向相反,每一個(gè)轉(zhuǎn)片處于兩個(gè)定片之間。分子泵工作時(shí),轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn),迫使氣體分子通過(guò)葉片從泵的土部流向出口,從而產(chǎn)生抽氣作用。排出的氣體經(jīng)排氣管道由前級(jí)泵抽走。
渦輪分子泵結(jié)構(gòu)原理
標(biāo)簽: 分子泵真空泵原理  

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