蒸氣流真空泵抽氣速率的方法和步驟

　?、僭硭捎玫姆椒ㄊ嵌▔悍āＴ跍y試過程中，泵口吸人壓力保持不變。實(shí)際上，測試罩內(nèi)測得的壓力保持不變，就認(rèn)為這個條件滿足了。
　　
　?、诔绦虿襟E為測試抽氣速率，應(yīng)將測試罩、真空計(jì)和氣體流率測量裝置，按(2)中④的要求裝配到被測泵上。在氣體流率測量裝置與測試罩之間，設(shè)置一個具有適當(dāng)調(diào)節(jié)范圍的進(jìn)氣微調(diào)閥。
　　
　　按第(3)條規(guī)定測試條件泵正常工作，關(guān)閉進(jìn)氣微調(diào)閥，抽空測試罩。達(dá)到或接近極限壓力，并且泵達(dá)到平衡溫度。
　　
　　測量氣體流率之前，應(yīng)先通過滴管內(nèi)液位的升降動作，使內(nèi)壁潤滑，并進(jìn)行測試裝置的氣密封檢漏試驗(yàn)。微調(diào)閥到滴管之間不得漏氣。
　　
　　開啟微調(diào)閥，使氣體進(jìn)入測試罩內(nèi)。在所需的泵口吸人壓力范圍調(diào)節(jié)壓力，按算術(shù)平均值讀取壓力值。流率測試前應(yīng)使系統(tǒng)達(dá)到壓力平衡狀態(tài)。
　　
　　抽氣速率(體積流率)測試過程，應(yīng)從z*低吸入壓力開始逐點(diǎn)進(jìn)行(每個數(shù)量級內(nèi)至少測五點(diǎn)，約在1.6，2.5，4，7和10)。但對增壓泵，則從z*高吸人壓力開始進(jìn)行系列測量。對每個測量點(diǎn)，應(yīng)盡可能同時測得泵口吸入壓力、環(huán)境大氣壓力和氣體流率。如果向測試罩輸入氣體時間超過60s，則壓力測量應(yīng)以60s為一個周期，取平均值。如果輸入氣體進(jìn)行中的壓力讀數(shù)波動過大，z*高與z*低值之差超過10%，則測量操作應(yīng)重新進(jìn)行。
　　
　　不同壓力點(diǎn)兩次氣體流率測量之間的時間間隔，z*小為2min。
　　
　　氣體流率及抽氣速率的測試與計(jì)算方法詳見本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A。