蒸氣流真空泵抽氣速率的測(cè)試裝置

　　①裝置的組成與被測(cè)泵相連接的測(cè)試罩側(cè)壁，裝有真空計(jì)規(guī)管和進(jìn)氣微調(diào)閥，通過微調(diào)閥與氣體流率測(cè)試裝置相連接。

　　
　?、跍y(cè)試罩如圖4-48所示，測(cè)試罩為一圓形鐘罩式組件，其內(nèi)徑D與泵入口內(nèi)徑以及擋板、冷阱的進(jìn)口內(nèi)徑相同。罩體上蓋為與水平面呈100角的斜面，斜面截中軸線高為1.5D。試驗(yàn)氣體通過彎管進(jìn)入罩內(nèi)，彎管開口向上，即背離泵口，且位于中軸線上，距泵入口法蘭高為D。真空計(jì)規(guī)管連接管在罩壁距泵入口法蘭0.5D處，其軸線垂直于測(cè)試罩軸線，罩軸線垂直于泵入口法蘭平面。
　　
　　注：如果泵內(nèi)的零件超出了泵人口法蘭平面，這些伸出零件z*高點(diǎn)的參考平面及在這個(gè)平面距泵口距離由制造廠確定。
　　
　?、壅婵沼?jì)規(guī)管與測(cè)試罩間連接管的流導(dǎo)，至少應(yīng)為3L/s。連接管端突出于罩內(nèi)壁長(zhǎng)度不超過連接管內(nèi)徑的0.5倍，一般可取Smm，開口平面應(yīng)平行于氣流流動(dòng)方向。如果使用冷阱，則應(yīng)放置于規(guī)管與測(cè)試罩之間，且保持冷劑的液位不變。
　　
　　測(cè)試過程中真空計(jì)壓力讀數(shù)取二位有效數(shù)字，并注明真空計(jì)種類。所用真空計(jì)必須經(jīng)過國(guó)家計(jì)量部門承認(rèn)的校準(zhǔn)單位對(duì)于燥空氣進(jìn)行校準(zhǔn)。
　　
　　當(dāng)壓力高于或等于1Pa時(shí)，校準(zhǔn)精度應(yīng)在±5%以內(nèi)。壓力更低時(shí)，校準(zhǔn)精度應(yīng)在±10%以內(nèi)。
　　
　?、軞怏w流率測(cè)量方法及裝置根據(jù)氣體流率選用測(cè)量方法及裝置。通常大多采用滴管式測(cè)量裝置，由倒置滴管、測(cè)量液、貯液槽以及連接膠管等組成。圓形貯液槽直徑應(yīng)大于滴管直徑的5倍。滴管容量可根據(jù)被測(cè)泵氣體流率選擇。詳見本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A。
　　
　　氣體流率的測(cè)量精度規(guī)定如下：
　　
　　a.流率大于9.9×10 -lPa.m3/s，為±3%;
　　
　　b.流率范圍9.g×10 -lPa. m3/s—9.9×IO - SPa- m3/s，為±5%;
　　
　　c.流率更小時(shí)，為±10%。
　　
　　注：理想氣體情況，假設(shè)為20℃。