蒸氣流真空泵抽氣速率的定義

　　本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義：
　　
　?、俪闅馑俾?體積流率)。理論概念是指單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩流經(jīng)泵入口截面的氣體體積，簡(jiǎn)稱為抽速。其單位是L/s。實(shí)際計(jì)算泵按規(guī)定條件工作時(shí)，對(duì)給定氣體的抽氣速率S，是通過(guò)測(cè)試罩的氣體流率Q除以測(cè)試罩指定位置平衡壓力p所得之商確定：
　　
　　S= Q/p
　　
　　對(duì)蒸氣流泵來(lái)說(shuō)，只有當(dāng)p超過(guò)lOPa時(shí)，抽氣速率的計(jì)算才接近真實(shí)值。此處p是用相同的真空計(jì)測(cè)得的極限壓力。
　　
　?、跍y(cè)試罩。裝在泵人口處的具有規(guī)定的型式和尺寸的組件。試驗(yàn)氣體通過(guò)罩進(jìn)入泵內(nèi)，其側(cè)壁裝有進(jìn)氣微調(diào)閥和真空計(jì)規(guī)管。
　　
　　③極限壓力。泵按規(guī)定條件工作，關(guān)閉進(jìn)氣閥門，在測(cè)試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的z*低壓力。