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滑閥式真空泵的工作原理

  滑閥式真空的結(jié)構(gòu)主要由泵體及內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的柱塞部件、半圓形的柱塞導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成,如圖3-24所示。

滑閥式真空泵的工作原理

  泵體中裝有“滑閥”環(huán)4,滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪3,偏心輪固定在軸2上,軸與泵體中心線相重合。在柱塞環(huán)上裝有長(zhǎng)方形的滑閥桿5,它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌7中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng),因此,泵體被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔為A、B兩室。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)裎中,由于A、B兩室容積周期性地改變使氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔;同時(shí),在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮,并通過(guò)排氣閥排除氣體。
 
標(biāo)簽: 滑閥泵真空泵  

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