濺射離子泵的型式與基本參數(shù)

　　本標準規(guī)定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數(shù)。適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
　　
　　本標準使用的術語應符合GB3163的規(guī)定。使用的符號、代號應符合JB/T7673 - 95。
　　
　　(1)型式
　　
　　①本標準把二電位普通型式的濺射離子泵分為二極型泵和三極型泵。
　　
　　二極型泵的抽氣單元由陽極筒和陰極板組成，陽極接數(shù)千伏正電位，陰極連同泵體接地。
　　
　　三極型泵的抽氣單元由陽極、陰極和收集極組成。陽極和收集極連同泵體接地，陰極接數(shù)千伏負電位。
　　
　?、谛吞柋硎痉椒毞螶B/T7673 - 95真空泵型號編制方法。
　　
　　(2)基本參數(shù)
　　
　?、俣O型濺射離子泵的基本參數(shù)應符合表5-7的規(guī)定。 　　
　　②三極型濺射離子泵的基本參數(shù)應符合表5-8的規(guī)定。