真空網(wǎng)歡迎您!
前沿科技:超高真空機(jī)械剝離和堆垛技術(shù)取得進(jìn)展!
2022-06-16  閱讀

微信掃一掃分享

QQ掃一掃分享

微博掃一掃分享

  【康沃真空網(wǎng)】近年來,二維材料及其異質(zhì)結(jié)構(gòu)由于在電子、光電及自旋器件領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力而得到了人們的廣泛關(guān)注。然而,制備表面高度潔凈的二維材料以及界面原子級(jí)平整干凈的二維異質(zhì)結(jié)仍然十分困難,尤其對(duì)于表面敏感的二維材料而言更是如此。 

  制備二維材料的方法主要分為兩大類:以分子束外延(MBE)和化學(xué)氣相沉積為代表的“自下而上”法和以機(jī)械剝離為代表的“自上而下”法。 

  其中,“自下而上”法由于受到生長動(dòng)力學(xué)的制約,僅能在特定襯底上制備特定的二維材料,并且制備出的二維材料通常具有確定的取向,因此極大地限制了可獲得的二維異質(zhì)結(jié)的種類。相比于“自下而上”的材料合成策略,以機(jī)械剝離為代表的“自上而下”方法具有操作簡單、靈活性強(qiáng)的特點(diǎn),對(duì)于范德瓦爾斯材料而言可以很容易地制備傳統(tǒng)生長方法難以實(shí)現(xiàn)的少層樣品和轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)。

  然而,傳統(tǒng)的機(jī)械剝離方法是在大氣或手套箱中進(jìn)行,仍然存在很多問題:

 ?。?)環(huán)境的污染將引入大量的雜質(zhì)或缺陷。即使對(duì)于穩(wěn)定的二維材料(比如石墨烯),這種方法制備的樣品,如未經(jīng)退火處理,傳入真空后,由于表面吸附了大量的雜質(zhì),難以利用ARPES、STM等表面敏感的技術(shù)進(jìn)行測(cè)量,而高溫退火可能引入更多的雜質(zhì)或缺陷。

  (2)很多單晶表面在空氣中甚至低真空環(huán)境下不能穩(wěn)定存在,比如Si(111)-7×7、Cu(111)、Fe(100)等,這些材料的表面必然會(huì)被氧化并吸附大量的雜質(zhì)。

  因此,傳統(tǒng)的機(jī)械剝離方法無法制備二維材料與這類襯底構(gòu)筑的異質(zhì)界面。

  最近,中國科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國家研究中心SF9組的馮寶杰特聘研究員、陳嵐研究員、吳克輝研究員與SC7組周興江研究員、北京理工大學(xué)的黃元教授合作,指導(dǎo)博士生孫振宇、韓旭等,自主設(shè)計(jì)并搭建了一套超高真空環(huán)境下的二維材料機(jī)械剝離-堆垛系統(tǒng)。

  他們將機(jī)械剝離技術(shù)與超高真空MBE技術(shù)結(jié)合到一起,在本底真空 10-10 mbar量級(jí)的環(huán)境中,利用MBE技術(shù)制備了多種原子級(jí)平整、潔凈的表面,并利用機(jī)械剝離技術(shù)在這些襯底上成功剝離了多種單層和少層二維材料。

  設(shè)備的工作原理圖如1所示,所有操作均在超高真空中完成。首先,他們利用高溫退火、離子濺射、等離子體刻蝕、MBE生長等多種表面處理技術(shù)獲得原子級(jí)平整、潔凈的表面。表面的質(zhì)量可以通過原位的掃描隧道顯微鏡、低能電子衍射、角分辨光電子能譜等超高真空表面分析手段進(jìn)行確認(rèn)。

圖1 超高真空中機(jī)械剝離二維材料

  然后,他們?cè)诔哒婵罩袑⒍S材料進(jìn)行解理,獲得新鮮的表面,并輕壓到襯底表面上。最后,他們將系統(tǒng)加熱并分離,獲得了多種單層和少層二維材料。利用該方法,他們不僅重復(fù)了大氣下的金輔助剝離技術(shù),而且成功獲得了多種以前未報(bào)道過的二維異質(zhì)結(jié),包括Bi-2212/Al?O?、Bi-2212/Si(111)、MoS?/Si(111)、MoS?/Fe、MoS?/Cr以及FeSe/SrTiO?(任意角度)等。

圖2 在單晶襯底上獲得的超薄二維材料

  為進(jìn)一步展示該系統(tǒng)的能力,他們選擇了兩個(gè)體系作為示例。

 ?。?)利用金輔助剝離技術(shù),他們?cè)诔哒婵罩兄苽涑隽撕撩准?jí)的單層黑磷樣品,并利用原位的低能電子衍射、角分辨光電子能譜對(duì)樣品進(jìn)行了表征,觀察到了清晰的衍射斑點(diǎn)和沿高對(duì)稱方向的空穴型能帶(圖3)。這是國際上首次對(duì)單層黑磷進(jìn)行的相關(guān)測(cè)量。

圖3 大面積單層黑磷的真空原位LEED和ARPES表征

 ?。?)為了揭示不同金屬襯底對(duì)二維材料物性的影響,他們研究了單層MoS?和WSe?在不同金屬表面的光學(xué)性質(zhì)(圖4)。通過測(cè)量不同金屬上單層WSe?的熒光光譜,他們意外地發(fā)現(xiàn),除了Au襯底以外,剩下的Ag、Fe、Cr等表面均不淬滅WSe?的特征A激子發(fā)射,且峰位略有偏移。通過拉曼光譜,他們發(fā)現(xiàn)在Au和Ag表面上的MoS?,其特征拉曼峰E?g和A?g除頻率移動(dòng)外,展現(xiàn)出了奇特的劈裂行為。

圖4 不同金屬表面單層WSe?和MoS?的光學(xué)響應(yīng)

  本工作為進(jìn)一步制備高質(zhì)量的二維材料及異質(zhì)結(jié)樣品、研究材料的本征物性以及界面演生現(xiàn)象提供了一種全新的方法。相關(guān)成果以“Exfoliation of 2D van der Waals crystals in ultrahigh vacuum for interface engineering”為題發(fā)表在Science Bulletin上(doi.org/10.1016/j.scib.2022.05.017)。該工作得到了國家自然科學(xué)基金委、科技部、北京市自然科學(xué)基金、中科院國際合作項(xiàng)目以及中科院先導(dǎo)B等項(xiàng)目的資助。