【康沃真空網(wǎng)】干式真空泵的應(yīng)用非常廣泛,主要有低壓化學(xué)氣相沉積在制備多晶硅、半導(dǎo)體蝕刻工藝。清潔、耐用、低噪等等都是干式真空泵的實(shí)用標(biāo)簽。
但在實(shí)際的干式真空泵應(yīng)用中,干式真空泵也分接觸型與非接觸型。因此在處理一些含顆粒物氣體過(guò)程中,并不是所有的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非接觸型泵種一樣對(duì)顆粒氣體有良好耐受性,而是需要通過(guò)過(guò)濾設(shè)備來(lái)予以解決。
此外即使是對(duì)顆粒性氣體有良好耐受性的非接觸性干式真空泵,為防止意外,也需要盡量避免介質(zhì)在真空泵內(nèi)由于化反或氣固變相形成顆粒物。
一般來(lái)說(shuō), 在真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況。
?、?有時(shí)泵內(nèi)壓力增高,而引起氣固變態(tài)過(guò)程的發(fā)生;
?、?在泵內(nèi)氣體成分的反應(yīng)生成物;
?、?抽氣過(guò)程混入的顆粒物。
在干式真空泵應(yīng)用中泵內(nèi)出現(xiàn)顆粒物的工況圖片
上圖就是顆粒物、可凝性氣體在真空泵內(nèi)凝結(jié)后會(huì)對(duì)泵造成的各種損傷。對(duì)此,除常規(guī)的過(guò)濾裝置外,還有以下方法可以避免泵內(nèi)顆粒物的產(chǎn)生:
1、適當(dāng)提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝固是壓力與溫度的函數(shù),隨物質(zhì)不同各有變化。因此提高泵內(nèi)溫度可以避免一些介質(zhì)在泵內(nèi)壓縮過(guò)程中發(fā)生氣固變相而形成顆粒物。如Al在刻蝕過(guò)程中生產(chǎn)的氯化鋁,在對(duì)應(yīng)壓力下,其在80℃就會(huì)開(kāi)始?xì)饣虼嗽趯⒈脙?nèi)溫度保持在80℃就可有效避免氯化鋁的固化沉積。
2、降低會(huì)反應(yīng)氣體的濃度。單位時(shí)間內(nèi)氣體反應(yīng)生成顆粒數(shù)量與氣體濃度相關(guān),所以在干式真空泵抽取這類氣體的工藝中可以通過(guò)充入惰性氣體,減少反應(yīng)氣體濃度來(lái)降低顆粒物的形成。這個(gè)方法也會(huì)用于泵內(nèi)溫度冷卻,防止介質(zhì)降解、聚合形成腐蝕性物質(zhì)等,也可以防止介質(zhì)達(dá)到著火極限等可能,如CVD工藝中可能發(fā)生的爆炸。
3、增加抽氣通道中的氣流速度。為防止處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物沉積,使氣體的流動(dòng)速度大于顆粒物沉積的臨界速度,就可保證顆粒物隨氣流輸送排出,防止沉積。具體的方法與第2點(diǎn)一樣,在不影響真空泵的極限壓力的前提下,就是充入適量氣體。
干式真空泵在使用一段后都是需要進(jìn)行內(nèi)部清理,這也是為了延長(zhǎng)它的使用時(shí)間,保證使用效果。
進(jìn)行內(nèi)部清理的時(shí)候需要做的工作是:
1、刮去葉輪內(nèi)外表面及密封環(huán)和軸承等處所積存的水垢及鐵銹等物,再用水或壓縮空氣清洗、吹凈。
2、清理殼體各接合表面上積存的油垢和鐵銹。
3、檢查管內(nèi)是否暢通并清理水封管。
4、清理軸瓦及軸承,除去油垢,再清洗油圈及油面計(jì)等,滾珠軸承要用汽油清洗。
5、暫時(shí)不進(jìn)行裝配的零、部件,在清洗后都要及時(shí)的涂油保護(hù)。
定期的進(jìn)行干式真空泵的內(nèi)部清理不僅是可以延長(zhǎng)泵的使用壽命更重要的是可以減少企業(yè)損失,保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。